純水用流量コントローラ: FC-200/FC-100
純水用液中パーティクルカウンタ専用
パーティクルカウンタから高精度の測定結果を得るためには、安定したサンプル流量を確保する必要があります。 FC-100 および FC-200は、サンプル流量を液中パーティクルカウンタの定格流量に正確に調整する流量コントローラです。
FC-100 は、純水供給システムに生じる圧力の変化に応じて自動的にサンプル流量を調整し、求められる流量を安定的に確保します。 FC-100 に実装する流量計は、組み合わせる純水用液中パーティクルカウンタの定格流量に準じます。
FC-200 は、Ultra DI® 20およびUltra DI 20 Plus液中パーティクルカウンタ専用の流量コントローラです。サンプル流量をUltra DI 20、Ultra DI 20 Plus の定格流量に自動調整する機能に加え、フラッシング機能を実装し、パーティクルカウンター内部の流路および純水供給ラインに残留する気泡や粒子を除去するのに必要な大流量を制御します。この機能により、Ultra DI 20、Ultra DI 20 PLus をより安全に使用することができます。
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