Contador de Partículas Químicas Chem 20™

Variação de sensibilidade: 20 - 100 nm

Contador de Partículas Químicas Chem 20™

Processos microeletrônicos de ponta exigem produtos químicos de processo muito limpos, altamente filtrados e regulados até um tamanho de partícula de 20 nm ou menos. Com sensibilidade a partículas de 20 nm, o novo Contador de Partículas Químicas Chem 20 da PMS é o contador de partículas mais sensível do mundo para produtos químicos de processo de alta pureza.

Dados extensivos sobre sistemas de distribuição e embalagem de produtos químicos comprovam que o contador Chem 20 da PMS, com sensibilidade de 20 nm, detecta maiores concentrações de partículas com estatísticas melhores do que produtos da concorrência. O Contador de Partículas Químicas Chem 20 é uma ferramenta valiosa que permite que os engenheiros de instalações e processos detectem e caracterizem rapidamente as fontes de partículas químicas antes que elas afetem o processo e o desempenho do dispositivo.

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Características

Óptica de laser e detectores avançados permitem sensibilidade de 20 nm em produtos químicos
Fluxímetro integrado de produtos químicos para definir o fluxo da amostra
Primeiro contador de partículas otimizado para produtos químicos de baixo e alto índice de refração a fim de melhorar o desempenho:
- Contador Chem 20, para produtos químicos com índices de refração mais baixos
- Contador Chem 20-HI, adaptado para ácido sulfúrico e outros produtos químicos de índices mais altos
Detecção integrada de vazamento para fornecer alarme em caso de vazamento interno de produtos químicos
Detector e alarme de baixo fluxo para garantir dados consistentes
Detector de bolhas para otimizar os dados e proteger o contador
Exibição de dados locais

Vantagens

Detecção de partículas de PSL de 20 nm e de Au de 9 nm em tempo real
Detecção de partículas limitadoras de rendimento (o que não é possível com tecnologias da concorrência)
Reação rápida a excursões de partículas muito antes de a varredura de superfície ou os dados de rendimento estarem disponíveis
Otimização dos sistemas de entrega de produtos químicos da base de carregamento até o ponto de processo
Redução dos limites de controle de processo por meio de estatísticas melhores de população de amostra
Otimização da operação do instrumento para aplicações muito sujas ou muito limpas usando dois modos de exibição, ampliando o espaço de aplicação do produto
Apoio a sistemas legados de aquisição de dados com comunicações flexíveis

Aplicações

Monitoramento de partículas em tempo real nos sistemas de distribuição de produtos químicos
Monitoramento de pontos de processo
Monitoramento de operações de embalagem de produtos químicos
Caracterização de desempenho e eficiência do filtro químico
Teste de desempenho de componentes de tratamento químico

Acessórios disponíveis

Facility Net
O Facility Net fornece uma solução para monitoramento ambiental abrangente, incluindo exibição de dados históricos e em tempo real. Compatível com contadores de partículas e monitores de contaminação molecular da Particle Measuring Systems, bem como vários produtos de terceiros.ts.
Kit de Instalação para Líquidos
Para uso com aplicações online, o Kit de Instalação para Líquidos inclui: uma ferramenta de alargamento Flaretek®, cinco tampões, 25 pés (7,5 m) de tubulação de 1/4 pol. de perfluoroalcoxialcanos (PFA) e conectores machos.

Contador de Partículas Químicas Chem 20™