Contador de Partículas Químicas Chem 20™
Variação de sensibilidade: 20 - 100 nm
Contador de Partículas Químicas Chem 20™
Processos microeletrônicos de ponta exigem produtos químicos de processo muito limpos, altamente filtrados e regulados até um tamanho de partícula de 20 nm ou menos. Com sensibilidade a partículas de 20 nm, o novo Contador de Partículas Químicas Chem 20 da PMS é o contador de partículas mais sensível do mundo para produtos químicos de processo de alta pureza.
Dados extensivos sobre sistemas de distribuição e embalagem de produtos químicos comprovam que o contador Chem 20 da PMS, com sensibilidade de 20 nm, detecta maiores concentrações de partículas com estatísticas melhores do que produtos da concorrência. O Contador de Partículas Químicas Chem 20 é uma ferramenta valiosa que permite que os engenheiros de instalações e processos detectem e caracterizem rapidamente as fontes de partículas químicas antes que elas afetem o processo e o desempenho do dispositivo.
Detalhes do produto
- Óptica de laser e detectores avançados permitem sensibilidade de 20 nm em produtos químicos
- Fluxímetro integrado de produtos químicos para definir o fluxo da amostra
- Primeiro contador de partículas otimizado para produtos químicos de baixo e alto índice de refração a fim de melhorar o desempenho:
- Contador Chem 20, para produtos químicos com índices de refração mais baixos
- Contador Chem 20-HI, adaptado para ácido sulfúrico e outros produtos químicos de índices mais altos
- Detecção integrada de vazamento para fornecer alarme em caso de vazamento interno de produtos químicos
- Detector e alarme de baixo fluxo para garantir dados consistentes
- Detector de bolhas para otimizar os dados e proteger o contador
- Exibição de dados locais
- Detecção de partículas de PSL de 20 nm e de Au de 9 nm em tempo real
- Detecção de partículas limitadoras de rendimento (o que não é possível com tecnologias da concorrência)
- Reação rápida a excursões de partículas muito antes de a varredura de superfície ou os dados de rendimento estarem disponíveis
- Otimização dos sistemas de entrega de produtos químicos da base de carregamento até o ponto de processo
- Redução dos limites de controle de processo por meio de estatísticas melhores de população de amostra
- Otimização da operação do instrumento para aplicações muito sujas ou muito limpas usando dois modos de exibição, ampliando o espaço de aplicação do produto
- Apoio a sistemas legados de aquisição de dados com comunicações flexíveis
- Monitoramento de partículas em tempo real nos sistemas de distribuição de produtos químicos
- Monitoramento de pontos de processo
- Monitoramento de operações de embalagem de produtos químicos
- Caracterização de desempenho e eficiência do filtro químico
- Teste de desempenho de componentes de tratamento químico
Recursos
Não sabe por onde começar? Aqui estão os próximos passos:
Conte-nos sobre os requisitos de sua aplicação.
Nossos especialistas ajudarão você a encontrar as soluções certas para atender às suas necessidades específicas
Assim que identificamos a melhor solução para você, fornecemos preços e datas de entrega.
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