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分子汙染監測儀

類型:

Particle Measuring Systems (PMS) 為您提供涵蓋於完整潔淨環境監測解決方案 (產品與服務) 中的空氣分子汙染 (AMC) 解決方案,以及三種選項:行動式、多點式與定點使用式。 

在高科技超潔淨的製造流程中,AMC 會造成重大損失。我們的 AMC 監測器能偵測酸性物質、胺類、氨,和氯化物,協助您快速找出問題及其所在位置,避免產品受到污染。 
 

AMC 監測系統的優點

儘管沒有任何環境能一直保持 100% 零汙染狀態,您仍可以仰賴我們的 AirSentry AMC 監測系統來找出汙染處,以防止重大突發事故。 
各項配置的部分優點包括: 

  • 適用於持續或行動式監測的多樣化配置選項
  • 徹底且可靠的資料生成與資料趨勢
  • 長期資料趨勢與結果
  • 低廉的單一測試與單一樣本點成本
  • 偵測終端使用者指定的多種化合物
  • 找出 AMC 問題與來源,避免產生重大損失
  • 說明空氣分子汙染 (AMC) 分級 

AirSentry 空氣分子污染監測應用

AMC 監測能有效應於多種產業,包括半導體、光電、光學以及航太產業。我們的 AirSentry AMC 監測器具備多種適用於持續遠端式或行動式監控的配置選項,可應用於: 

  • 排除並辨識 AMC 來源
  • 隔離並確認污染事件
  • 有效監測微環境和流程工具
  • 測試並驗證化學過濾成效
  • 監測多點無塵室與處理槽
  • 在新無塵室中定義基準並達到 AMC 等級
  • 分析並量化化學濾網效率
  • 從潔淨空氣與再循環空氣歸納 AMC 成因
  • 在蝕刻流程中即時監測腐蝕情形
  • 在微影系統中監測胺類與氨
  • 量化化學濾網效率
  • 在整個無塵室和流程工具中追蹤並排除 AMC 來源
  • 在 FOUP 晶圓儲存模組中分析 AMC

進一步了解 AMC 監測

閱讀頂尖業界專家所撰寫的 AMC 監測主題論文,尋找您可應用的解決方案:


身為備受信賴的業界專家,我們能協助合作夥伴改善良率,並防止產品遭受汙染。PMS 可提供氣態與液態粒子監測,以及分子污染監測。我們的全球專家團隊可為您提供應用方面的解決方案支援。 

如需更多資訊,請與我們聯絡。
 

AirSentry® II 移動式空氣分子汙染偵測系統

AirSentry II 移動式AMC 檢測系統能加強確認空氣分子污染 (AMC) 的監測程序,是第一款真正的移動系統,用於監測無塵室中的空氣分子污染物。 而可移動的特色在戰略性空氣分子污染監測計劃中扮演著重要的角色,可快速鎖定、量化和消除污染源。

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AirSentry® II 移動式空氣分子汙染偵測系統

AirSentry® II 多點式空氣分子汙染監測系統

最先進的空氣分子污染監測儀,利用靈敏和反應快速之離子電泳光譜儀檢測來自無塵室內多個位置的空氣分子污染物。 該系統配備了16 或 30 點多點取樣系統,並搭載具有安全軟體和通信功能的電腦。

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AirSentry® II  多點式空氣分子汙染監測系統

AirSentry® II 定點式離子電泳光譜儀

固定式感測器可快速反應、偵測極限低 (ppt),並提升檢測選擇性和重複性。 將Air Sentry II感測器與中央軟體平台結合可輕鬆進行數據收集和分析,亦能藉以連續有意義的數據,有效地反應污染來源和事件。

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AirSentry® II  定點式離子電泳光譜儀

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