用於空氣懸浮分子污染 (AMC) 的AirSentry® II 系列離子電泳光譜儀可檢測低濃度的氯化物、酸、胺和含氨物質，並發出警告通知使用者濃度的變化。其定點式感測器具有ppt 等級的靈敏度，提供了反應迅速、監測選擇性高和重複性性能佳的特性，而搭配中央軟體平台可輕易收集和分析數據。AirSentry II 空氣懸浮分子污染感測器系列提供連續可操作的數據，以有效反應污染源和事件。
特點
- 高靈敏度檢測酸類和鹼類 (酸、胺、氨和氯化物)
- 針對定點使用、多點式和移動空氣懸浮分子污染監測應用的多功能產品配置
- 體積小，可放在任何位置
- Ethernet, RS-232, 4-20 mA 輸出
優點
- 連續監測關鍵位置的空氣懸浮分子汙染
- 耐久可靠的數據收集、控制和分析
- 長期數據穩定
- 最低的每次測試成本
應用
- 在蝕刻製程位置裡的即時腐蝕監測
- 在關鍵的光刻系統內之即時胺和氨類的監測
- 化學過濾器效率的量化
- 於無塵室和製程設備中追踪和排除空氣中的分子污染源
- FOUP晶圓存儲模組內的空氣分子污染 (AMC) 分析
可用配件
空氣分子汙染 (AMC) 真空泵
為一個 AirSentry II 定點使用之感測器提供一個適當真空源的獨立電動泵，應用於主泵不可用的時候。
Facility Net 軟體
Facility Net 軟體為全面的環境監測提供解決方案，包括即時和歷史數據顯示。與 PMS 粒子計數器和分子污染監測器，以及各種第三方產品相容。
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