AirSentry® II 多點式監測系統

AirSentry II Multi-point AMC Cleanroom Monitor Solutions from Particle Measuring Systems

AirSentry® II 多點式監測系統是最新型的懸浮分子汙染監測器，利用靈敏和反應快速之離子電泳光譜儀檢測來自無塵室內多個位置的空氣分子污染物。該系統配備了16 或 30 點多點取樣系統，並搭載具有安全軟體和通信功能的電腦。

於現代無塵室製造環境，製程設備常遍佈於大型無塵室區域和不同樓層。空氣處理器在一個無塵室內再循環大部分空氣，而這些空氣可輕易地傳播分子污染物到其他區域，對遠離污染源的製程步驟產生負面衝擊。AirSentry II懸浮分子汙染監測系統提供了一個集中且具有成本效益的監測站，可以快速檢測污染物，並依序監測遍布於整個廠務的大量採樣點。這是戰略性懸浮分子汙染監測計畫的一個關鍵部分。

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Deb Casher, Cleaning Process Engineer at Excelitas, and Isidro Sanchez, Product Line Manager at Particle Measuring Systems (PMS), talk with Blu Buquoy about AMC Monitoring using the AirSentry II at Excelitas.