Ultra DI® 20 液體粒子計數器專為超純水系統設計，可快速獲得具有統計學意義的數據，並可計數最小至 20 nm 的污染物。資料穩定性極高，不受設備移動影響，有效管控生產。Ultra DI 20 粒子計數器具有抗干擾、取樣體積大和高計數效率的特點，可提供卓越的粒子監測。改進的靈敏度使您可以使用 20 nm 聚苯乙烯乳膠 (PSL) 和9 nm金 (Au) 更快地檢測製程變化。
超純水 UPW 粒子污染監測 / 20 nm 粒子計數器
來自英特爾公司 Glen Slayter 和美國粒子監測系統公司（PMS）Dan Rodier，在 Ultrapure Micro 2020 活動上的簡報。 案例研究了監控20 nm以下的超純水（UPW）中微粒子的好處。
特點
- 配載LCD顯示數據
- 在更多相關統計資料下，以更大的取樣體積和超低零計數來檢測更小的漂移
- 利用現有網絡與乙太網通信
- 用4-20mA直接連接到PLC和SCADA系統
- Connects directly to PLC and SCADA systems with 4-20mA
- 適用於臭氧水 (ozonated water)
- 適用於潔淨環境使用的不銹鋼外殼和雙HEPA過濾
優點
- 快速清理可節省操作員時間，並可快速從一個採樣點移動到另一個採樣點
- 通過使用較短採樣時間間隔加快分析時間
- 在即時粒子監測下，對污染做出即時反應
- FacilityNet Software 軟體提供更多複雜的製程控制
- 在低的樣本間變化下，設置更加嚴格的工藝控制限度
應用
- 量化現有技術超純水 (UPW) 系統中的微粒子濃度
- 過濾效率測量
- 在較低的微粒子濃度下進行趨勢分析
- 檢測超純水系統中的細菌生長
- 突發事件的追蹤以及警報
- 連續系統監測
- 生產製程控制
可用配件
Facility Net 軟體
Facility Net 軟體為全面的環境監測提供解決方案，包括即時和歷史數據顯示。與 PMS 粒子計數器和分子污染監測器，以及各種第三方產品相容。
液體安裝套件
使用於線上應用程序，液體安裝套件包括：一個 Flaretek® 擴口工具，1/4in 全氟烷氧基烷烴 (PFA) 管子25ft 和公螺紋接頭。
下游流量控制器
以浮子式流量計之流量指示器當作去離子水的下游流量控制器。
