靈敏度範圍: 20 - 100 nm
Ultra DI® 20 粒子計數器專為 超純水系統(UPW) 設計，可快速獲得具有統計意義的數據，並可計數最小至 20 nm 的污染物。數據穩定性極高，不受設備移動影響，有效管控生產。Ultra DI® 20 粒子計數器具有抗干擾、取樣體積大及高計數效率的特點，可提供卓越的粒子監測。改進的靈敏度可以幫助您用 20 nm 聚苯乙烯乳膠 (PSL) 和9 nm金 (Au) 更快地檢測製程變化。
Ultra DI® 20是 PMS “領先業界靈敏度” 的產品之一。 這意味著市場上沒有比這更高靈敏度的產品，只有 PMS 能提供涵蓋眾多生產監控要素的產品線。 PMS 目前在超純水、化學品和空氣粒子污染監測領域的監測效能、靈敏度和可靠性方面處於市場領先地位。 PMS 卓越的知識、技術和服務為高科技和化學品製造公司提供了最先進的工具，以做出準確的數據驅動決策，從而提高效能和產量。
來自英特爾公司 Glen Slayter 和美國粒子監測系統公司（PMS）Dan Rodier，在 Ultrapure Micro 2020 活動上的簡報。 案例研究了監控20 nm以下的超純水（UPW）中微粒子的好處。
Facility Net 軟體為全面的環境監測提供解決方案，包括即時和歷史數據顯示。與 PMS 粒子計數器和分子污染監測器，以及各種第三方產品相容。
使用於線上應用程序，液體安裝套件包括：一個 Flaretek® 擴口工具，1/4in 全氟烷氧基烷烴 (PFA) 管子25ft 和公螺紋接頭。
以浮子式流量計之流量指示器當作去離子水的下游流量控制器。
Chem 20TM 和 Ultra DI® 20 的環境控制櫃可精確控制環境溫度，以確保數據準確一致。 環境溫度控制櫃用於環境溫度控制不佳的化學品分配室內，可保護粒子感測器免受對數據質量產生不利影響的環境變化。
焊接 PFA 的裝置，允許超純水 (UPW) 或製程化學樣品中夾帶的氣泡在採樣進入液體粒子計數器之前通過浮力與採樣品流分離。
