• 使用真空技術來裝滿樣本器皿，之後通過加壓來計算氣泡以外的粒子
• 與大多數化學品相容的材料組成
• 可從樣品瓶，化學容器或製程槽中有效採樣化學品

• LiQuilaz 感測器100%全量監測意味著更快的製程確認
• 圓晶片清潔製程的即時鑑定和故障排除
• 支援廣泛的應用和化學品
• 可設計的粒徑範圍
• 壓縮採樣可以使設備測量多數的化學物，並排除對氣泡的錯誤計數
• 批次採樣軟體使用簡易，並便於資料管理和報告

• 測量冒泡液體內的粒子濃度
• 圓晶清潔槽的製程監測
• 化學製程監控
• 零件清潔容器的取樣