靈敏度範圍: 20 - 100 nm
領先的微電子製程需要非常乾淨的製程化學品，這些化學品經過高度過濾並調節至20 nm或更低的粒徑。20nm 粒子靈敏度，全新的 Chem 20 化學粒子計數器是世界上用於高純度製程化學品的最靈敏的粒子感測器。
有關化學品分配和包裝系統的大量數據證明，具有 20 nm 靈敏度的 Chem 20 感測器能夠檢測出比競爭產品較大的微粒子濃度，並具有更好的統計數據。Chem 20 化學粒子計數器是一種有價值的工具，可使廠務和製程工程師在影響製程和設備性能之前快速檢測和表徵化學品內微粒子的來源。
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Facility Net 軟體為全面的環境監測提供解決方案，包括即時和歷史數據顯示。與 PMS 粒子計數器和分子污染監測器，以及各種第三方產品相容。
使用於線上應用程序，液體安裝套件包括：一個 Flaretek® 擴口工具，1/4in 全氟烷氧基烷烴 (PFA) 管子25ft 和公螺紋接頭。
焊接 PFA 的裝置，允許超純水 (UPW) 或製程化學樣品中夾帶的氣泡在採樣進入液體粒子計數器之前通過浮力與採樣品流分離。
Houses the chemical particle sensor, detects chemical leaks with an external alarm, and provides secondary containment when a leak occurs. In the event of a chemical leak within the chemical particle counter or sample connections, the system will automatically detect the leak, shut off inlet and outlet sample valves, turn off power to the particle sensor, and provide an external alarm contact.
