高科技製造過程通常需要高純度氣體，而HPGP®-101-C高壓氣體量測系統可為具有壓力的管路中之製程氣體提供 可靠的線上污染監測。 HPGP-101-C高壓氣體粒子計數器可用於氧氣、氫氣和大多數無害氣體，它亦被用於許多反應性氣體監測的應用。其能加速確認製程氣體分配系統的品質，並在氣體影響產量之前檢測氣體中的顆粒。HPGP 與 Particle Data System、乙太網 (PDS-E) 配置，收集和報告粒子計數器的數據。
特點
- 安全保護殼
- 適用於氧氣與氫氣
- 0.1μm 靈敏度和 0.1SCFM 流速
- 8 個粒子通道
- 容許40-150psig的管路壓力
- 被動式鐳射源
- 並行處理陣列檢測器系統
優點
- 驗證氣體品質
- 檢測製程異常
- 量化系統變化的影響
- 提供精確的粒徑
- 使用 Facility Net 軟體來進行全面的數據存儲、管理、報告和警報
- 被動式鐳射源設計只需極少的維護
- 惰性氣體吹掃確保安全
- 樣品氣體洩漏將停止向電子設備供電
應用
- 配氣系統的資格確認
- 製成氣體監測
- 反應性氣體監測
輔助材料
Specification Sheets
常見問題
可用配件
安裝機架 (PDS-E)
PDS-E 的安裝機架符合標準的19-inch 架子。請注意，任何安裝架必須考慮到設備後方的風扇的氣流。
Facility Net 軟體
Facility Net 軟體為全面的環境監測提供解決方案，包括即時和歷史數據顯示。與 PMS 粒子計數器和分子污染監測器，以及各種第三方產品相容。
粒子數據系統 (Particle Data System, PDS-E)
微處理器基本資料系統。PDS-E 可以安裝一台高壓氣體粒子計數器，其包含一個壁裝盒、 RS-232 設置電纜和 FacilityNet 軟體；感測器不包括在內。
