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Understanding ISO Standards: ISO 14644-2:2015 Cleanroom Monitoring

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先進的光學製造業與過去相比,現今要求更加乾淨的製程環境。較小的設備結構、較短的波長使用,以及較高的鐳射功率密度是先進元件比較容易受到污染帶來的影響的所有因素。

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論文系列: 粒子技術指南

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注射筒式液體粒子取樣器

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利用精確的注射筒和簡單的流動路徑,將化學品從樣品容器或化學容器直接傳送到粒子感測器。

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固定式感測器可快速反應、偵測極限低 (ppt),並提升檢測選擇性和重複性。 將Air Sentry II感測器與中央軟體平台結合可輕鬆進行數據收集和分析,亦能藉以連續有意義的數據,有效地反應污染來源和事件。

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業界最高水準之攜帶式空氣粒子計數器,並符合 ISO 14644-1:2015 和  ISO 21501-4 的要求。

LiQuilaz® II E系列液體粒子計數器

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液體粒子計數光譜儀 : 量測液體總體積 的粒子計數器,因此您可以準確地知道粒子...  

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