액체용 파티클 카운팅 분광계

LiQuilaz® 액체 파티클 카운터 S 시리즈

LiQuilaz 광학 파티클 카운터는 가장 작게는 0.2µm까지 감지하는 다향한 감도의 volumetric 파티클 카운터입니다. 플루오린화 수소산과 최고 306 °F (150 °C)인 고온의 부식성 화학물질과 같은 대부분의 공정 화학물질에 대한 고정밀 분석을 제공합니다. 체적 파티클 카운터는 100% 샘플 체적을 측정함으로써(최대 80ml/min) 통계적 의미를 희생시키지 않고 짧은 샘플링 인터벌을 활용할 수 있게 되어 가능한 최고의 정밀도를 제공합니다.

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특징

  • 사이즈 범위 0.3 -3.0μm
  • 유속 80 ± 10% ml/min
  • 광범위한 공정 화학물질과 양립 가능
  • 공정의 어디에서든 쉽게 설치할 수 있도록 하는 적은 설치공간
  • 사용자가 선택하는 파티클 크기 한계값

이점

  • 수율 향상
  • 오염에 대한 즉각적인 반응을 위해 파티클 농도에 대한 실시간 특성화 및 분석
  • volumetric 측정은 더 타이트한 공정 컨트롤에 대해 훨씬 더 높은 정확도를 제공합니다.
  • 선택적 소프트웨어는 알람 설정, 상태 조건, 샘플러 셋업 그리고 온라인 도움말을 제공함으로써 공정 컨트롤을 쉽게 합니다
  • 광범위한 어플리케이션 및 유체를 지원
  • 컴프레션 또는 시린지 샘플러로 작업
  • 다양한 관 표준들과 양립 가능
  • 인라인 및 배치 샘플링 능력
  • RS-485 네트워킹 호환성
  • 손쉬운 사용
  • 공정의 어디에서든 쉽게 설치할 수 있도록 하는 적은 설치공간
  • 유연한 소프트웨어는 실시간 또는 검색된 데이터를 보는 수 많은 선택지를 제공
  • 사용자가 선택할 수 있는 파티클 크기 한계값

응용

  • 컴프레션 샘플링을 사용하는 발포성 화학물질 측정
  • 화학적 품질 보장
  • 공정 배스 모니터링
  • DI Water 모니터링
  • 화학물질 전달 시스템
  • 포토레지스트 모니터링

이용 가능한 부속재

Facility Net Software

Facility Net Software

Facility Net Software는 실시간 및 역사적 데이터 디스플레이를 포함한 포괄적인 환경 모니터링을 위한 솔루션을 제공합니다. 호환 가능한 파티클 측정 시스템에는 제3자 제품들 뿐 아니라 파티클 카운터 및 분자 오염 모니터 또한 포함됩니다.

액체 설치 키트

액체 설치 키트

온라인 어플리케이션으로 사용하는 경우, 액체 설치 키트가 포함하는 것: Flaretek® 플레어링 툴 1개, 캡 5개, 1/4인치 PFA관 25피트 및 수 커넥터

모세관 세척 키트

모세관 세척 키트

모세관 세척 키트는 Flaretek® 어댑터로 모세관을 씻어내며, 10cc 시린지 2개와 Flaretek® 관 피팅 2개를 포함합니다.

통신 부속재

통신 부속재

LiQuilaz 파티클 카운터는 RS-485 프로토콜을 통해 통신을 하므로 통신 부속재가 필요합니다. 구성에 따라 여러분은 캐이블 2개와 BB485 컨버터가 필요할 수 있습니다. 만약 LiQuilaz 장비가 데이지 체인 방식으로 연결되면(즉, 직렬 연결되면), 표준 구핀 직렬 케이블로 두 장비를 연결할 수 있습니다. 만약 컴퓨터가 구 핀 직렬 포트를 갖추고 있지 않다면, USB-직렬 컨버터 또한 필요합니다.

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