Ultra DI® 20 리퀴드 파티클 카운터
초순수 시스템을 위해 특별히 고안된 Ultra DI® 20 리퀴드 파티클 카운터는 통계적으로 의미있는 데이터를 신속하게 획득하고 20nm 크기의 오염물질까지 계수하고 크기를 식별합니다. 기구가 이동하더라도 유지되는 일관성으로 인해 데이터로부터 더 많은 것을 얻을 수 있으며, 그리하여 공정을 더 많이 컨트롤 할 수 있게 됩니다. Ultra DI 20 파티클 카운터는 낮은 제로 계수, 큰 샘플 체적 그리고 높은 계수 효율을 가짐으로써 타의 추종을 불허하는 파티클 탐지를 보여줍니다. 향상된 감도 덕분에 20nm 폴리스티렌 라텍스(PSL) 및 9nm 금(Au)로 더 신속하게 공정의 변동을 감지할 수 있습니다.
