• 진공을 사용하여 샘플 용기를 채우고, 그리고 나서 압력을 가해 거품을 제외한 파티클을 셈니다.
• 대부분의 공정 화학물질과 양립 가능한 물질들로 구성
• 샘플 병, 화학물질 용기 또는 공정 욕조로부터 화학물질의 효율적인 샘플링을 가능하게 합니다.

• LiQuilaz 센서의 100% 뷰 볼륨은 더 신속한 공정 검증을 의미합니다.
• 웨이퍼 세척 공정의 실시간 특성화 및 문제해결
• 광범위한 응용 및 화학물질을 지원
• 프로그래밍될 수 있는 파티클 크기의 기준값
• 압축 샘플링은 기구가 거품을 잘못 세는 것 없이 대부분의 화학물질을 측정할 수 있도록 합니다.
• SamplerSight 배치 샘플링 소프트웨어는 사용이 쉽고, 데어터 관리 및 보고를 손쉽게 합니다.

• 거품이 이는 액체에서 파티클 레벨 측정
• 웨이퍼 세척 욕조의 공정 모니터링
• 화학물질 처리 모니터링
• 부품 세척 용기의 샘플링