특징
- 진공을 사용하여 샘플 용기를 채우고, 그리고 나서 압력을 가해 거품을 제외한 파티클을 셈니다.
- 대부분의 공정 화학물질과 양립 가능한 물질들로 구성
- 샘플 병, 화학물질 용기 또는 공정 욕조로부터 화학물질의 효율적인 샘플링을 가능하게 합니다.
이점
- LiQuilaz 센서의 100% 뷰 볼륨은 더 신속한 공정 검증을 의미합니다.
- 웨이퍼 세척 공정의 실시간 특성화 및 문제해결
- 광범위한 응용 및 화학물질을 지원
- 프로그래밍될 수 있는 파티클 크기의 기준값
- 압축 샘플링은 기구가 거품을 잘못 세는 것 없이 대부분의 화학물질을 측정할 수 있도록 합니다.
- SamplerSight 배치 샘플링 소프트웨어는 사용이 쉽고, 데어터 관리 및 보고를 손쉽게 합니다.
응용
- 거품이 이는 액체에서 파티클 레벨 측정
- 웨이퍼 세척 욕조의 공정 모니터링
- 화학물질 처리 모니터링
- 부품 세척 용기의 샘플링
이용 가능한 부속재
부식성 액체 샘플러 설치 키트
부식성 액체 샘플러 설치 키트가 포함하는 것: Flaretek® 플레어링 툴 1개, 캡 3개, 1/4인치 PFA관 25피트 및 1/4인치 폴리 플로우 관 10인치
