최첨단 마이크로칩 공정은 20nm 이하의 파티클을 여과한 고순도 케미컬을 필요로 합니다.
신규 출시된 Chem 20은 20nm 파티클을 측정할 수 있는 세계 최초 20nm의 케미컬 파티클 카운터 입니다. 다양한 케미컬 공급장치와 패키징 시스템에서 검증된 데이터는 Chem 20 을 통해 경쟁사보다 더 높은 효율로 의미있는 통계적 데이터를 확보할 수 있다는 것을 입증합니다.
Chem 20 케미컬 파티클 카운터는 공정/Facility 엔지니어들이 소자의 성능과 공정에 영향을 미치기 전에 파티클 소스를 신속하게 파악 할 수 있게 하는 중요한 장비입니다.
Facility Net은 실시간 및 역사적인 데이터 디스플레이를 포함한 포괄적인 환경적 모니터링에 대한 솔루션을 제공합니다. 호환가능한 파티클 측정 시스템에는 다양한 제3자 제품들 뿐 아니라 파티클 카운터 및 분자 오염 모니터도 포함됩니다.
온라인 어플리케이션으로 사용하는 경우, 액체 설치 키트가 포함하는 것: Flaretek® 플레어링 툴 1개, 캡 5개, 1/4인치 PFA관 25피트 및 수 커넥터
UltraChem 100 리퀴드 파티클 카운터는 가장 작은 파티클을 감지하는 능력으로 믿음직스러운 오염 모니터링을 제공합니다.
UltraChem 40 리퀴드 파티클 카운터는 가장 작은 파티클을 감지하는 능력으로 믿음직스러운 오염 모니터링을 제공합니다.
CLS-700 T 부식성 리퀴드 샘플러는 …에 대한 효과적인 측정을 위해 LiQuilaz® 파티클 카운터와 결합된 압축 샘플러입니다.
