Chem 20™ 케미컬 파티클 카운터
최첨단 마이크로칩 공정은 20nm 이하의 파티클을 여과한 고순도 케미컬을 필요로 합니다.
신규 출시된Chem 20은 20nm 파티클을 측정할 수 있는 세계 최초 20nm의 케미컬 파티클 카운터 입니다. 다양한 케미컬 공급장치와 패키징 시스템에서 검증된 데이터는 Chem 20 을 통해 경쟁사보다 더 높은 효율로 의미있는 통계적 데이터를 확보할 수 있다는 것을 입증합니다.
Chem 20 케미컬 파티클 카운터는 공정/Facility 엔지니어들이 소자의 성능과 공정에 영향을 미치기 전에 파티클 소스를 신속하게 파악 할 수 있게 하는 중요한 장비입니다.