특징
- Advanced laser optics and detectors enable 20 nm sensitivity in chemicals
- On-board chemical flow meter to set sample flow
- First particle counter optimized for low and high refractive index chemicals for improved performance:
- Chem 20 sensor, for chemicals with lower indices of refraction
- Chem 20-HI sensor, tailored for sulfuric acid and other higher-index chemicals
- On-board leak detection to provide alarm upon an internal chemical leak
- Low-flow detector and alarm to ensure consistent data
- Bubble detector to optimize data and protect sensor
- Local data display
이점
- Detect 20 nm PSL & 9 nm Au particles in real time
- Detect yield-limiting particles (not possible with competitive technologies)
- React quickly to particle excursions long before surface scan or yield data are available
- Optimize chemical delivery systems from the loading dock to point-of-process
- Tighten process control limits through improved sample population statistics
- Optimize instrument operation for very dirty or very clean applications using two view modes, extending product application space
- Support legacy data acquisition systems with flexible communications
응용
- Real-time particle monitoring within chemical distribution systems
- Point-of-process monitoring
- Chemical packaging operations monitoring
- Chemical filter performance and efficiency characterization
- Performance testing of chemical handling components
이용 가능한 부속재
Facility Net
Facility Net은 실시간 및 역사적인 데이터 디스플레이를 포함한 포괄적인 환경적 모니터링에 대한 솔루션을 제공합니다. 호환가능한 파티클 측정 시스템에는 다양한 제3자 제품들 뿐 아니라 파티클 카운터 및 분자 오염 모니터도 포함됩니다.
액체 설치 키트
온라인 어플리케이션으로 사용하는 경우, 액체 설치 키트가 포함하는 것: Flaretek® 플레어링 툴 1개, 캡 5개, 1/4인치 PFA관 25피트 및 수 커넥터
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