특징
- 안전 밀폐 용기
- 산소 및 수소 호환성
- 0.1SCFM에서 감도0.1μm
- 8개의 파티클 채널
- 라인 압력 40-150psig
- 패시브 레이저 캐비티
- 병렬 프로세싱 배열 탐지 시스템
이점
- 기체 성질을 검증
- 프로세스 업셋 점검
- 시스템 변화의 영향을 수량화
- 정확한 파티클 크기 제공
- 포괄적인 데이터 저장, 관리, 보고 및 경보를 위해 Facility Net Software 사용
- 패시브 캐비티 디자인은 잦은 유지관리를 유고하지 않는다
- 불활성 가스 퍼지가 안전을 확보
- 샘플 기체가 용기로 새면 전자제품으로부터 전력을 차단
응용
- 기체 분산 시스템의 자격
- 공정 기체 모니터링
- 반응성 기체 모니터링
이용 가능한 부속재
랙 마운트(PDS-E)
표준 19인치 랙에 맞는 PDS-E를 위한 랙 마운트. 모든 마운팅 랙은 공기가 기구 후면의 팬으로부터의 흐를 수 있도록 해야 합니다.
Facility Net
Facility Net은 실시간 및 역사적인 데이터 디스플레이를 포함한 포괄적인 환경적 모니터링에 대한 솔루션을 제공합니다. 호환가능한 파티클 측정 시스템에는 다양한 제3자 제품들 뿐 아니라 파티클 카운터 및 분자 오염 모니터도 포함됩니다.
파티클 데이터 시스템(PDS-E)
마이크로프로세서 기반의 데이터 시스템. PDS-E는 하나의 프로브를 수용할 것이며 월 마운트 박스, RS-232 셋업 케이블 그리고 FacilityNet Software를 포함합니다. 센서는 포함되지 않습니다.
