UPW의 파티클 모니터링 전략: 300 mm Fabs

요약

Particle Monitoring Strategies in UPW: 300 mm Fabs

초순수(UPW, Ultra Water water)내의 파티클에 의해 발생하는 공정 결함은 상대적으로 드물게 발생하지만, 300mm 웨이퍼와 90nm 선폭에서는 상당한 재정적 영향을 미칠 수 있습니다. 과거에 대부분의 파티클 모니터링 전략은 모바일 및 인라인 고감도 0.05 마이크론 파티클 카운터의 사용에 초점이 맞춰져 있었습니다. 본 논문에서는 성능을 향상하고 데이터 동향을 추적하며 대량을 샘플을 대상으로 고감도 파티클 카운터(0.3마이크론)과 조금 저렴한 저감도(0.1마이크론) 카운터의 조합을 이용하여 비용을 절감할 기회가 있는지 알아봅니다. 이 문서에서는 파티클 카운터의 성능에 대한 크기 민감도, 샘플 볼륨 및 제로 카운트 수준의 영향을 상세히 기술합니다. 실제 모니터링 고려 사항과 다른 필터링 수준을 가진 시스템 사이의 파티클 분포의 차이를 설명합니다.

더 자세한 내용을 알고 싶으시면 이 페이지의 양식을 작성하고 UPW에서의 파티클 모니터링 전략: 300mm 반도체 제조 공장 애플리케이션 노트를 무료로 받으십시오.

In order to provide complete functionality, this web site needs your explicit consent to store browser cookies. If you don't allow cookies, you may not be able to use certain features of the web site including but not limited to: log in, buy products, see personalized content, switch between site cultures. It is recommended that you allow all cookies.