AirSentry®II Mobile AMC Detection System

Overview

AirSentry II Mobile AMC Detection Systemは、クリーンルーム内の気中分子状汚染物質(AMC：airborne molecular contamination)を常時測定する移動式システムです。
AMCの常時測定において、設置場所に制約を受けず汚染源の位置を正確に特定してAMC量を測定することは、とても重要です。
測定結果はリアルタイムに装置上のタッチスクリーンモニタへ表示され、測定者は、測定個所のAMCレベルを直ぐに確認することができます。　測定データはコントロールソフトウェアであるFacility Netに保存され、過去のデータも簡単に確認することができます。
装置内部にはCDA（clean dry air)と真空装置が設置されており、AC電源の供給のみで測定作業を行うことができます。

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