AirSentry® II 移動式分子状汚染物質測定システム

AirSentry II 移動式分子状汚染物質測定システムは、クリーンルーム内の気中分子状汚染物質を常時測定する移動式システムです。 ケミカルフィルター処理されたクリーンドライエア(CDA)装置とバキューム装置がカートに内蔵されています。

 

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機能

  • イオン移動度分光分析器を用いた高感度測定
  • 検出可能な分子状汚染物質はアンモニア、総合アミン、総合酸、塩化物
  • 米国国立標準技術研究所(NIST)トレーサブルの校正基準採用
  • UPSにより約30分間電源供給無しで稼働可能
  • ケミカルフィルター処理されたクリーンドライエア(CDA)装置内蔵
  • バキューム装置内蔵

利点

  • クリーンルーム内のアンモニア、総合アミン、総合酸、塩化物の常時モニタリングが可能
  • 常時モニタリングによる迅速なケミカル汚染対策が可能
  • 問題発生個所へ速やかに移動し測定可能

用途

  • エッチングエリアでの常時モニタリング
  • リソグラフィエリアでの常時モニタリング
  • ケミカルフィルターの効率評価
  • クリーンルーム各所の汚染レベル調査

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