クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC) は、電子デバイスやプロセス装置の性能に影響を及ぼし、歩留ロスや品質劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC対策の実施につながります。

AirSentry® II Multi-Point System は、クリーンルーム内に設定した複数の測定ポイントからサンプルを順次採取して、イオン モビリティ・スペクトロメータ (AirSentry II Point-of-Use) で測定します。測定ポイントあたりのコストを抑えた、広範囲の管理が可能です。

システムに付属するPCにプリインストールされたソフトウェアには、サンプリング順序の設定と制御、測定結果やトレンドグラフ、アラームのリアルタイム表示、レポートの生成などの機能があります。

測定するAMCの種類に応じて、最大で3台の AirSentry II Point-of-Use を搭載することができます。設定可能な測定ポイントが16までのシステムと、30までのシステムとがあります。