クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC: Airborne Molecular Contaminant) は、電子デバイスや製造装置の性能に影響を与え、歩留ロスや製品劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC汚染防止につながります。
AirSentry II 多点式AMCモニタリングシステムは、クリーンルーム内に設定した複数の測定ポイントからサンプル空気を順次集め、イオン モビリティ スペクトロメータ (IMS) のAirSentry II AMCモニター 1台ないし3台でAMCを順次測定します。測定ポイントあたりのコストを抑えながら、広範囲の管理を可能にします。
システムに付属するPCにプリインストールされたソフトウェアにより、測定結果はリアルタイムに表示され、また、アラームの状態や各種レポートを閲覧したり、レシピを作成することができます。サンプリングと測定は、レシピに基づいて自動的に実行されます。
測定対象のAMCに応じて、最大で3台のAirSentry II AMCモニターをシステムに搭載することができます。対応可能な測定ポイントが16か所までのシステムと、30か所までのシステムがあります。
