Chem 20 Chemical Particle Counter

Chem 20 液中パーティクルカウンタは、最先端の電子産業向け超純水および高品位薬液に含まれる不溶性微粒子を測定するために開発された、高感度の常時モニタリング装置です。 Chem20は、最小粒径検出感度20nmを達成した、業界初の液中パーティクルカウンタです。 Ultra DI®シリーズで実績のある光学系を更に進化させることにより、低偽計数で且つ優れた測定安定性を実現いたしました。

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機能

  • 装置組み込みディスプレイにより、装置設定および測定データの表示が可能
  • 4-20mAを用いた外部出力
  • Facility Netを用いたクリーンルーム内総合環境モニタリングに対応
  • ステンレススチール筐体とデュアルHEPAフィルターを搭載、クリーンルーム環境で使用可能
  • 米国国立標準技術研究所(NIST)トレーサブルの校正基準採用

利点

  • 20nmレベルの微小粒子数の変動を常時モニタリング可能
  • 優れた測定安定性
  • 低偽計数
  • 短時間でのクリアダウン
  • 9nm-Au/20nm-PSLを用いた製品評価が可能

用途

  • 超純水の常時モニタリング
  • 高品位薬液の常時モニタリング
  • 高品位薬液のQAおよび受け入れ検査
  • フィルター効率測定

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