高分子溶液にレーザーを照射すると、汚染粒子だけでなく分子からも光散乱が生じるため、パーティクルカウンター(光散乱式)の検出信号にノイズが生じます。また背景ノイズも大きくなり、パーティクルからの信号が埋もれてしまいます。NanoVision Technology は高い画像処理能力により、パーティクルと分子の光散乱を識別し、ノイズを除去します。NanoVision Technology を搭載する UltraChem 40 は、高い品質管理が求められるプロセス用高品位薬液や純水に浮遊する汚染粒子を正確に検出する液中パーティクルカウンターです。
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UltraChem® 100 液中パーティクルカウンター
独自の技術 NanoVision Technology® によりノイズを除去し、高い精度で 100 nm のパーティクルを検出する光散乱式液中パーティクルカウンター。エレクトロニクス製造プロセスに欠かせない高品位薬液(高分子溶液)や純水の品質管理に。