高分子溶液にレーザーを照射すると、汚染粒子だけでなく分子からも光散乱が生じるため、パーティクルカウンター（光散乱式）の検出信号にノイズが生じます。また背景ノイズも大きくなり、パーティクルからの信号が埋もれてしまいます。NanoVision Technology は高い画像処理能力により、パーティクルと分子の光散乱を識別し、ノイズを除去します。NanoVision Technology を搭載する UltraChem 100 は、高い品質管理が求められるプロセス用高品位薬液や純水に浮遊する汚染粒子を正確に検出する液中パーティクルカウンターです。
FAQs
アクセサリー
Facility Net
Facility Net Software provides a solution for comprehensive environmental monitoring, including a real-time and historical data display. Compatible with Particle Measuring Systems particle counters and molecular contamination monitors, as well as various third-party products.
Liquid Installation Kit
For use with online applications, the Liquid Installation Kit includes: a Flaretek® flaring tool, five caps, 25 ft of 1/4 in Perfluoroalkoxy alkanes (PFA) tubing and male connectors.
Particle Sensor Safety Cabinet
Houses the chemical particle sensor, detects chemical leaks with an external alarm, and provides secondary containment when a leak occurs. In the event of a chemical leak within the chemical particle counter or sample connections, the system will automatically detect the leak, shut off inlet and outlet sample valves, turn off power to the particle sensor, and provide an external alarm contact.
Particle Sensor Safety Cabinet for Solvent Applications
Provides chemical containment and safe operating conditions for the Chem 20™ and UltraChem® 40 or 100 chemical particle counting sensors.
関連製品
UltraChem® 40 液中パーティクルカウンター
独自の技術 NanoVision Technology® によりノイズを除去し、高い精度で 40 nm のパーティクルを検出する光散乱式液中パーティクルカウンター。エレクトロニクス製造プロセスに欠かせない高品位薬液（高分子溶液）や純水の品質管理に。
Chem 20™ 液中パーティクルカウンター
最先端のエレクトロニクス製造プロセスで使用される高品位薬液・超純水をモニタリングするための、ハイエンドの液中パーティクルカウンター。粒径 20 nmの不溶性微粒子を検出。
