Ultra DIシリーズの液中パーティクルカウンターは、最先端のエレクトロニクス産業で使われる超純水中の不溶性微粒子を測定するために開発された、高感度の常時モニタリング装置です。Ultra DI 50は、超純水中の粒径 50 nmの微粒子を検出することができます。偽計数、単位時間あたりに測定可能なサンプル量、計数効率において優れた性能を有しています。
超純水のモニタリング用
測定粒径:50 - 200 nm
Ultra DIシリーズの液中パーティクルカウンターは、最先端のエレクトロニクス産業で使われる超純水中の不溶性微粒子を測定するために開発された、高感度の常時モニタリング装置です。Ultra DI 50は、超純水中の粒径 50 nmの微粒子を検出することができます。偽計数、単位時間あたりに測定可能なサンプル量、計数効率において優れた性能を有しています。
最先端の半導体、ウェハーの製造プロセスなどに使用される超純水をモニタリングするための液中パーティクルカウンター。粒径 20 nmの不溶性微粒子を検出します。
PMS日本支社
スペクトリス株式会社
PMS事業部
101-0048
東京都千代田区
神田司町2-6 司町ビル1F
TEL 03-5298-8175
FAX 03-5298-8199
[email protected]
PMS日本支社
(スペクトリス㈱PMS事業部)
101-0048
東京都千代田区
神田司町2-6 司町ビル1F
TEL 03-5298-8175
FAX 03-5298-8199
[email protected]