Ultra DI® 20 液中パーティクルカウンター

Ultra DIシリーズの液中パーティクルカウンターは、最先端のエレクトロニクス産業で使われる超純水中の不溶性微粒子を測定するために開発された、高感度の常時モニタリング装置です。なかでもUltra DI 20は、他社に先駆けて製品化された、粒径 20 nmの微粒子（20 nmのPSL粒子、 9 nmのAu粒子）を検出することができる装置です。進化した光学系構造により、高い精度で安定した測定が可能です。