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SLS-20 シリンジサンプラー

Chem 20™ 液中パーティクルカウンター用シリンジサンプラー

SLS-20はChem 20 液中パーティクルカウンター用のサンプリング装置で、Chem 20でバッチ測定を行う場合に使用します。

Chem 20は最先端のエレクトロニクス製造プロセスで使用される高品位薬液をモニタリングするために開発されたパーティクルカウンターで、粒径20 nmを検出する、すぐれた感度を備えています。主として高品位薬液あるいは超純水のインライン・モニタリングに使われてきましたが、SLS-20により、パーツ洗浄の評価のようなバッチ・サンプリングが適したアプリケーションにおいてもChem 20が性能を発揮します。

SLS-20の操作はすべてSamplerSightソフトウェア(オプション)で行います。SamplerSightはPMSのバッチモニタリング用液中パーティクルカウンターすべてに共通のソフトウェアです。

スペックシートお問い合わせ
SLS 20 Liquid Sampler
SLS 20 Liquid Sampler

機能・特長

  • Chem 20液中パーティクルカウンターに接続して高感度バッチ測定
  • 試料の腐食性の有無に応じてシリンジの仕様を選択可能
  • フッ化水素酸に強いフッ素樹脂シリンジをラインアップ
  • SamlerSight ソフトウェア(別売り)を使用して、バッチ・モニタリングのレシピを定義・登録
    • ユーザーフレンドリーで使いやすいソフトウエア
    • 登録したレシピの測定ボタンをクリックするだけで自動実行
    • ユーザーごとに複数のレシピを定義・登録可能
    • パスワードによるユーザー権限の管理
    • カスタマイズ可能なレポート様式を標準装備

 

スペックシート

  • SLS-20
  • Chem 20™ Chemical Particle Counter
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FAQs

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アクセサリー

  • Facility Net

    Facility Net Software provides a solution for comprehensive environmental monitoring, including a real-time and historical data display. Compatible with Particle Measuring Systems particle counters and molecular contamination monitors, as well as various third-party products.

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SamplerSightソフトウェアは電子工業向けアプリケーションで使用する、バッチサンプリングシステム SLSシリーズ…

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PMS日本支社
(スペクトリス㈱PMS事業部)

〒210-0024
神奈川県川崎市川崎区
日進町7-1
川崎日進町ビル4F

T: 044 589 3498 (代表)
T: 044 589 3418 (校正・修理)
F: 044 245 5000
E: [email protected]

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