SLS-20 シリンジサンプラー

SLS-20はChem 20 液中パーティクルカウンター用のサンプリング装置で、Chem 20でバッチ測定を行う場合に使用します。

Chem 20は最先端のエレクトロニクス製造プロセスで使用される高品位薬液をモニタリングするために開発されたパーティクルカウンターで、粒径20 nmを検出する、すぐれた感度を備えています。主として高品位薬液あるいは超純水のインライン・モニタリングに使われてきましたが、SLS-20により、パーツ洗浄の評価のようなバッチ・サンプリングが適したアプリケーションにおいてもChem 20が性能を発揮します。

SLS-20の操作はすべてSamplerSightソフトウェア（オプション）で行います。SamplerSightはPMSのバッチモニタリング用液中パーティクルカウンターすべてに共通のソフトウェアです。