測定粒径： 20 - 100 nm
Chem 20 液中パーティクルカウンターは、最先端のエレクトロニクス産業で使われる高品位薬液中の不溶性微粒子を測定するために開発された、高感度の常時モニタリング装置です。超純水用パーティクルカウンター Ultra DI®シリーズで実績のある光学系構造をさらに進化させることにより、粒径20 mmの微粒子（20nmのPSL粒子、 9nmのAu粒子）の検出が、高品位薬液でも可能になりました。
Chem 20は、高品位薬液・超純水どちらにも対応します。SLS-20シリンジサンプラーを組み合わせることで、バッチ測定が可能です。
Facility Net Software provides a solution for comprehensive environmental monitoring, including a real-time and historical data display. Compatible with Particle Measuring Systems particle counters and molecular contamination monitors, as well as various third-party products.
For use with online applications, the Liquid Installation Kit includes: a Flaretek® flaring tool, five caps, 25 ft of 1/4 in Perfluoroalkoxy alkanes (PFA) tubing and male connectors.
A welded PFA device that allows entrained bubbles in an ultrapure water (UPW) or process chemical sample to separate from the sample stream through buoyancy, prior to the sample entering the liquid particle counter.
Houses the chemical particle sensor, detects chemical leaks with an external alarm, and provides secondary containment when a leak occurs. In the event of a chemical leak within the chemical particle counter or sample connections, the system will automatically detect the leak, shut off inlet and outlet sample valves, turn off power to the particle sensor, and provide an external alarm contact.
最先端の半導体、ウェハーの製造プロセスなどに使用される超純水をモニタリングするための液中パーティクルカウンター。粒径 20 nmの不溶性微粒子を検出。
独自の技術 NanoVision Technology® によりノイズを除去し、高い精度で 40 nm のパーティクルを検出する光散乱式液中パーティクルカウンター。エレクトロニクス製造プロセスに欠かせない高品位薬液（高分子溶液）や純水の品質管理に。
