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Particle Measuring Systems
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液中パーティクルカウンター

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液中パーティクルカウンター

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高感度の液中パーティクルカウンター

半導体およびその他の製造業において重要な超純水および高品位薬液中の微粒子測定には、液中パーティクルカウンターが欠かせません。また、半導体製造、航空機産業、製薬、高感度部品製造のいずれにおいても、気中および液中での汚染モニタリングは、歩留まりの最大化を図り、製品の高い品質を維持するための必要条件です。Particle Measuring Systemsは、業界最高基準を満たし、特にクリーンルーム環境における高精度管理に適した微粒子測定装置を製造しています。

業界をリードするParticle Measuring Systems(PMS)の液中パーティクルカウンタは、薬液はもちろんのこと、純水(脱イオン水)および超純水に含まれる微粒子を最小粒径検出感度20 nmにて検出する高信頼性システムです。検出感度および媒体の幅広い選択肢から、お客様のアプリケーションに適切なソリューションを見つけてください。

なぜ液中パーティクルカウンタはそんなに有益なのか?
パーティクルカウンタは、超純水およびプロセス用高純度薬液の両方でパーティクルを検出します。クリーンで収益性の高い製造設備を維持するには、これらの液体を用いる重要なプロセスでの汚染管理が不可欠です。生産環境において薬液および純水/超純水供給システムを維持するだけでなく、これらのシステムを高純度で運用し、プロセスの継続的改善を図るには、高信頼性の液中パーティクルカウンターが必要です。

液中微粒子計測アプリケーション
液中パーティクルカウンタは、以下を含め、各種のクリーン製造アプリケーションに対応しています。Particle Measuring Systemsは、アプリケーションを専門とするグローバルチームと共に、様々なアプリケーションやロケーションでの汚染防止対策をサポートしています。

流通、配送、または包装システムにおける化学物質の品質保証
加工点のモニタリング
薬液を取り扱う構成部品の性能テスト

最新式超純水(UPW)システム内微粒子濃度の定量化

傾向分析

超純水(UPW)システム内細菌増殖の検出

一時的イベントトラッキングと警戒

継続的システムモニタリング

製造プロセス管理

液浸リソグラフィー

発泡性液体中のパーティクルレベル測定

ウェハ洗浄処理槽のプロセスモニタリング

部品洗浄容器のサンプリング

米国薬局方(USP)、欧州薬局方(EP)、日本薬局方(JP)および米国食品医薬品局(FDA)の基準に照らした非経口薬剤モニタリング

部品/医療機器の清浄度試験

精製水および注射用水(WFI)のための検査室用水サンプリング

フィルタ効率テスト

PMSの各種液中パーティクルカウンター
業界をリードするParticle Measuring Systems(PMS)の液中パーティクルカウンターは、薬液はもちろんのこと、純水(脱イオン水)および超純水に含まれる微粒子を最小粒径検出感度20 nmにて検出する高信頼性システムです。検出感度および媒体の幅広い選択肢から、お客様のアプリケーションに適切なソリューションを見つけてください。

効果的なコンタミ測定なくしてリキッドプロセスを適切に制御することは不可能です。Particle Measuring Systems(PMS)は、自社クリーンルームの装置に比類のない制御性、品質、信頼性を実現し、微粒子モニタリング技術における業界標準の確立に尽力しています。

PMSがお客様の様々なクリーンルーム管理対策にイノベーション(革新)、エンパワーメント(権限委譲)、インテグリティ(完全性)を実現する方法を詳しくお知りになりたいときは、Webセミナー(ウェビナー)やパーティクルカレッジにご参加いただくか、またはコロラド州ボルダーの本社にお問い合わせください。

薬液・硫酸・半導体洗浄液・フッ酸・SC1・SC2・IPAの測定に

Chem 20™ 液中パーティクルカウンター

測定粒径: 20 - 100 nm

最先端のエレクトロニクス製造プロセスで使用される高品位薬液・超純水をモニタリングするための液中パーティクルカウンター。粒径 20 nmの不溶性微粒子を検出します。

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SLS-20 シリンジサンプラー

Chem 20™ 液中パーティクルカウンター用バッチサンプラー

高品位薬液・超純水中の不溶性微粒子をバッチ測定するためのサンプリング装置。Chem 20™液中パーティクルカウンター用。

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SLS 20 Liquid Sampler

SLS 液中バッチサンプラー

モデル SLS-1040、SLS-1100、SLS-1200、SLS-1300、SLS-1500、SLS-2000

SLS液中バッチサンプラーは、純水や薬液をサンプリングボトルより吸引し、液中に含まれる不溶性微粒子数を測定します…

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Ultra DI® 20 液中パーティクルカウンター

超純水のモニタリング用
測定粒径:20 - 100 nm

最先端の半導体、ウェハーの製造プロセスなどに使用される超純水をモニタリングするための液中パーティクルカウンター。粒径 20 nmの不溶性微粒子を検出します。

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APSS-2000 液中パーティクルカウンター

注射剤(非経口投与剤)の不溶性微粒子試験に最適な、JP/USP/EPの規格基準に対応した液中パーティクルカウンター

APSS-2000は、液体サンプル中に含まれる不溶性微粒子の粒径および粒子数を測定する、光遮へい式のパーティクルカウンターです。

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Ultra DI® 50 液中パーティクルカウンター

超純水のモニタリング用
測定粒径:50 - 200 nm

最先端の半導体、ウェハーの製造プロセスなどに使用される超純水をモニタリングするための液中パーティクルカウンター。粒径 50 nmの不溶性微粒子を検出します。

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UltraChem® 40 液中パーティクルカウンター

測定粒径:40 - 125 nm
NanoVision Technology® 搭載

独自の技術 NanoVision Technology® によりノイズを除去し、高い精度で 40 nm のパーティクルを検出する光散乱式液中パーティクルカウンター。エレクトロニクス製造プロセスに欠かせない高品位薬液(高分子溶液)や純水の品質管理に。

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UltraChem® 100 液中パーティクルカウンター

測定粒径:100 - 500 nm
NanoVision Technology® 搭載

独自の技術 NanoVision Technology® によりノイズを除去し、高い精度で 100 nm のパーティクルを検出する光散乱式液中パーティクルカウンター。エレクトロニクス製造プロセスに欠かせない高品位薬液(高分子溶液)や純水の品質管理に。

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LiQuilaz® II S Series Liquid Particle Counter

LiQuilaz S Series 光散乱式液中パーティクルカウンターは、最大15チャンネルの粒径分類能(最小0.2μm)を持つ、全量測定方式のパーティクルカウンターです…

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LiQuilaz® 液中パーティクルカウンター E Series

LiQuilaz E Series 光遮へい式液中パーティクルカウンタは、最大15チャンネルの粒径分類能(最小1.5μm)を持つ、全量測定方式のパーティクルカウンタです…

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HSLIS-M65e 液中パーティクルカウンター

HSLISシリーズの液中パーティクルカウンターは、最先端の電子産業向け超純水および高品位薬液に含まれる不溶性微粒子を測定するために開発された…

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HSLIS-M100e 液中パーティクルカウンター

HSLISシリーズの液中パーティクルカウンタは、最先端の電子産業向け超純水および高品位薬液に含まれる不溶性微粒子を測定するために開発された…

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HSLIS-M50e 液中パーティクルカウンター

HSLIS 液中パーティクルカウンターは、最先端の電子産業向け超純水および高品位薬液に含まれる不溶性微粒子を測定するために開発された…

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CLS-700 T 加圧式液中サンプラー

CLS-700T 加圧式液中サンプラーは、気泡が含まれる超音波洗浄後の洗浄水や、発泡性の高品位薬液を加圧することにより…

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Surfex® 部品清浄度テストステーション

Surfex Parts Testing Stationは、超音波槽部とパーティクルカウンタ部でなる、半導体デバイス、データストレージ、自動車、医薬用品…

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Particle Measuring Systems- JP

PMS日本支社
スペクトリス株式会社
PMS事業部
101-0048
東京都千代田区
神田司町2-6 司町ビル1F

TEL 03-5298-8175
FAX 03-5298-8199
[email protected]

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