Beginner guide to particle technology

Learn the Basics of Particles and Particle Counting

Beginner guide to particle technology（微粒子技術の初級ガイド）」では、以下について説明しています。

ISO 14644-1 クリーンルームの規格について
3種類の微粒子: 非生存有機物、生存有機物、無機物
- 微粒子のサイズ
- さまざまな空気密度における微粒子のさまざまな濃度
クリーンルームで見つかる物質
- クリーンルームにおける微粒子の主な発生源
- 微粒子に対する重力およびその他の力の影響
配管を介した空気中の微粒子の移送
- クリーンルームにおける微粒子のサンプリングの困難性
- 配管内での気中微粒子の喪失の最小化
クリーンルーム環境
- 環境内での微粒子汚染の制御
- 汚染を減少させるための微粒子のろ過
- クリーンルームの構築
- クリーンルームの分類に関する規格と規制
- クリーンルームの検証
微粒子検出
- 光学パーティクルカウンタとその仕組み
- クリーンルームの媒質に応じたパーティクルカウンタの種類
- パーティクルカウンタの使用と結果の分析方法
データ処理
- 無換算/換算したカウントについて

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