Beginner guide to particle technology

Learn the Basics of Particles and Particle Counting

Beginner guide to particle technology（微粒子技術の初級ガイド）」では、以下について説明しています。

• ISO 14644-1 クリーンルームの規格について
• 3種類の微粒子: 非生存有機物、生存有機物、無機物
  • 微粒子のサイズ
  • さまざまな空気密度における微粒子のさまざまな濃度
• クリーンルームで見つかる物質
  • クリーンルームにおける微粒子の主な発生源
  • 微粒子に対する重力およびその他の力の影響
• 配管を介した空気中の微粒子の移送
  • クリーンルームにおける微粒子のサンプリングの困難性
  • 配管内での気中微粒子の喪失の最小化
• クリーンルーム環境
  • 環境内での微粒子汚染の制御
  • 汚染を減少させるための微粒子のろ過
  • クリーンルームの構築
  • クリーンルームの分類に関する規格と規制
  • クリーンルームの検証
• 微粒子検出
  • 光学パーティクルカウンタとその仕組み
  • クリーンルームの媒質に応じたパーティクルカウンタの種類
  • パーティクルカウンタの使用と結果の分析方法
• データ処理
  • 無換算/換算したカウントについて

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