Understanding ISO 21501-4 (LS)

製品を製造するクリーンルームでは、収量および処理量を向上する手順が採用されています。その結果、多くのメーカーは、微粒子数の決定およびクリーンルームの分類(気中微粒子データに基づく)に関するISO 14644-1、および継続的な準拠を実証する装置ガイドラインに関するISO 14644-2に従っています。

新しく公表されたISO 14644-1:2015では、ISO 21501-4に従ってパーティクルカウンターを校正するよう求めています。この校正方法により、データの正確性と再現性が確保されます。

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