Choosing the Most Suitable Particle Sample Point Locations in the Cleanroom (EL)

抽象

Choosing the Most Suitable Non-Viable Sample Point Locations非生存微粒子モニタリングに適したモニタリング点の位置の選択は、認証および検証テストのデータを使用して、正式なリスク評価に基づいて行う必要があります。機器の干渉、取り付け箇所、オペレーターインピーダンスなど、他の要因もサンプリングプローブの最終的な位置の選択に考慮されます。このような微粒子モニタリング位置を選択する最善の方法について説明します。

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