気中パーティクルカウンターの選定

パーティクルカウンターの導入を検討する際には、モニタリングの目的やモニタリングを行う環境、製造プロセス、管理する微粒子のサイズ、望ましい吸引流量、サンプリングポイント、コストなどを考慮して機種を選定する必要があります。本書では、モニタリングの目的やモニタリング対象の特性に応じてパーティクルカウンターに求められる機能・性能について解説しています。ISO規格に準じたクリーンルームのモニタリング方法にも触れています。

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