Sistema di sonda per gas ad alta pressione HPGP-101-C

Gamma di sensibilità: 0,1 - 5,0 µm

Sistema di sonda per gas ad alta pressione HPGP-101-C

I processi di produzione ad alta tecnologia richiedono spesso l’impiego di gas di purezza elevata. Il sistema di sonda per gas ad alta pressione HPGP-101-C fornisce un monitoraggio affidabile della contaminazione in linea per i gas di processo alla pressione di linea. Il sistema di sonda per gas ad alta pressione è compatibile con ossigeno, idrogeno e gran parte dei gas non tossici e può essere utilizzato in numerose applicazioni di monitoraggio di gas reattivi. Il sistema di sonda per gas ad alta pressione accelera la qualifica dei sistemi di distribuzione dei gas di processo nei gas prima che questi influiscano sulla resa. HPGP è abbinato a un sistema di dati delle particelle Ethernet (PDS-E) in grado di raccogliere e rappresentare in rapporti i dati acquisiti dalla sonda.

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Caratteristiche

Recipiente di contenimento di sicurezza
Compatibilità a ossigeno e idrogeno
Sensibilità di 0,1 μm a 0,1 SCFM
Otto canali di particelle
Pressioni di linea da 40 a 150 psig
Laser a cavità passiva
Sistema di rilevamento di array di elaborazione paralleli

Vantaggi

Verifica della qualità del gas
Rilevamento delle irregolarità di processo
Quantificazione degli effetti delle variazioni di sistema
Capacità di dimensionamento preciso delle particelle
Utilizzo del software Facility Net per funzioni complete di memorizzazione dei dati, gestione, rapporti e allarmi
Design a cavità passiva per una manutenzione poco frequente
Lo scarico di gas inerti garantisce la sicurezza
La perdita di gas di campionamento nel recipiente disinserisce l’alimentazione ai circuiti elettronici

Applicazioni

Qualifica di sistemi di distribuzione di gas
Monitoraggio di gas di processo
Monitoraggio di gas reattivi

Accessori disponibili

Montaggio su rack (PDS-E)
Montaggio su rack per PDS-E adatto a un rack standard da 19″. Notare come il rack di montaggio debba consentire il flusso d’aria dalla ventola presente nel lato posteriore dello strumento.
Facility Net
Facility Net è una soluzione di monitoraggio ambientale completa, comprendente la visualizzazione di dati in tempo reale e storici. Contatori di particelle Particle Measuring Systems compatibili e monitor della contaminazione molecolare, oltre a vari prodotti di terzi.
Sistema di dati delle particelle (PDS-E)
Sistema di dati basato su microprocessore. Il sistema PDS-E consente di collegare una sonda e comprende una scatola di montaggio a parete, cavo di configurazione RS-232 e software FacilityNet. Sensore non in dotazione.

Sistema di sonda per gas ad alta pressione HPGP-101-C