Chem 20™ Contatore Particellare per sostanze chimiche

Range di sensibilità: 20 - 100 nm

Chem 20^™ Contatore Particellare per sostanze chimiche

I processi produttivi avanzati della microelettronica richiedono sostanze chimiche filtrate con un taglio particellare finale non superiore ai 20 nm. Il Chem 20 della PMS è il più sensibile contatore particellare disponibile sul mercato che soddisfa questi requisiti e quindi adatto al controllo particellare delle sostanze chimiche impiegate in questi processi produttivi

II dati raccolti nel monitoraggio dei processi produttivi e del packaging dimostrano che il Chem 20 della PMS (sensibilità 20 nm) rileva una maggiore concentrazione di particelle con trend statistici più significativi rispetto agli strumenti della concorrenza. Il Chem 20 può monitorare con facilità, velocità ed efficienza la componente particellare chimica del processo prima che vada ad impattare sulla produzione

Scarica la brochure Richiedi un preventivo

Caratteristiche

Ottica avanzata e detector capace di rilevare particelle nelle sostanze chimiche di 20 nm
Flussimetro integrato per settare il flusso del campione analitico
Primo contatore particellare ottimizzato per sostanze chimiche ad alto e basso indice di rifrazione:
- Sensore Chem 20 per sostanze chimiche a basso indice di rifrazione
- Sensore Chem 20 per sostanze ad alto indice di rifrazione tarato con acido solforico ed altre sostanze simili
Sensore integrato per rilevare sversamenti interni
Sensore di rilevamento del flusso per assicurare dati statisticamente validi e ripetibili
Sensore per il rilevamento di bolle nel campione per garantire misurazioni stabili
Display per visualizzare I dati rilevati

Vantaggi

Rileva in tempo reale particelle di 20 nm (PSL) & particelle di 9 nm (AU)
Può rilevare in produzione particelle di 20 nanometri che possono limitare le rese (non possibile con altre tecnologie)
Rileva variazioni particellari durante processi produttivi più velocemente rispetto ai test sulle superfici (successivi alla produzione) e all’analisi delle rese
Ottimizza la logistica delle sostanze chimiche dal serbatoio di carico alla produzione
Permette un miglior controllo di processo con l’analisi statistica dei dati raccolti
Le due diverse modalità di gestione dei dati raccolti per lavorare su applicazioni sia pulite che sporche ne aumenta le possibilità d’uso
Possibile acquisizione dati per uso legale (comunicazioni flessibili)

Applicazioni

Monitoraggio particellare in real time all’interno di un sistema di distribuzione chimico
Monitoraggio puntuale del processo
Monitoraggio delle operazioni di confezionamento
Monitoraggio dell’efficienza chimica dei filtri
Monitoraggio delle performance dei componenti chimici usati nel processo

Accessori disponibili

Facility Net
Facility Net è una soluzione di monitoraggio ambientale completa, comprendente la visualizzazione di dati in tempo reale e storici. Contatori di particelle Particle Measuring Systems compatibili e monitor della contaminazione molecolare, oltre a vari prodotti di terzi.
Kit di installazione per liquidi
Per l’uso con le applicazioni online, il kit di installazione per liquidi comprende: un flangiatubo Flaretek®, cinque coperchi, 7,6 metri (25 ft) di tubi in perfluoroalcossi(alcani) (PFA) da 1/4 di pollice e connettori maschio.

Chem 20™ Contatore Particellare per sostanze chimiche