ParticleSeeker™ Campionatore d’Aria Multiporta
Sensibilità: 10 nm
Il ParticleSeeker è un collettore d’aria a 10 porte che si affianca al contatore di nanoparticelle per aria NanoAir™.
Progettato specificamente per l’uso negli spazi più critici dei fab, è disponibile per l’uso in applicazioni che richiedono il monitoraggio di più posizioni di campionamento in sequenza o programmate. ParticleSeeker rende possibile il monitoraggio di mini ambienti all’interno di apparecchiature di processo (Front End Module, EFEM). Insieme, ParticleSeeker e NanoAir consentono di monitorare fino a 120 m2 di spazio fab/process quando si utilizzano tutte le 10 porte del manifold.
Particle Measuring Systems progetta, produce, installa, calibra, ripara e manutiene il collettore d’aria ParticleSeeker™.
Dettagli del prodotto
- 10 punti di collettore
- Portata del campione: 0,1 CFM
- Intervallo di campionamento: Min 1 secondo, Max 3600 secondi
- Copertura di campionamento fino a 120 m2 di fabbrica/spazio di process
- I LED indicano le porte di campionamento attive
- Modalità di campionamento multiple (4)
” Ensemble: campiona tutte le porte contemporaneamente
” Seeker: si rivolge a qualsiasi porta identificata durante il funzionamento dell’ensemble
” Synch: comunica con lo strumento di processo in tempo reale per seguire il processo di fabbricazione (percorso del wafer) attraverso gli strumenti di processo e i mini-ambienti
” Definito dall’utente - Ingombro ridotto: 8,2 x 5,4 x 4,7 pollici (21x14x12 cm)
- L’indirizzo IP e l’ubicazione dello strumento rimangono nella stazione base, che può essere sostituita con tempi di inattività minimi (< 5 minuti).
- Relè a contatto secco (x4)
- Ingressi analogici 4-20mA (x4) e uscite (x2) per sensori aggiuntivi (es. temperatura, UR, DAP)
- Porta USB
- Porte Ethernet (2): Protocollo Ethernet e MODBUS su TCP/IP
- Fornisce una copertura di 120 m2 di campionamento di spazio di processo
- ‘unico collettore di particelle d’aria sul mercato progettato e realizzato appositamente per l’uso con nanoparticelle campione (<100 nm).
- Elimina la diafonia e altri problemi comuni di gestione del trasporto delle nanoparticelle.
- Capacità di monitorare più posizioni del campione in sequenza o in modo programmato
- Le interfacce di comunicazione multiple di ingresso/uscita consentono il trasferimento dei dati SCADA senza soluzione di continuità, riducendo i tempi di inattività degli impianti di processo
- Le porte di alimentazione DC (x2) consentono a ParticleSeeker di condividere l’alimentazione con un NanoAir.
ParticleSeeker + NanoAir (cotaparticele per aria):
- Monitoraggio all’interno di mini-ambienti di impianti di processo Equipment Front End Module (EFEM)
- Ideale per le applicazioni che richiedono un monitoraggio programmato del punto di campionamento che segue il percorso del wafer o di altre superfici critiche
- Ampio monitoraggio della contaminazione quando si utilizzano porte multiple per manifold
Risorse
Non sapete da dove cominciare? Ecco i passi da seguire:
Comunicateci le vostre esigenze applicative.
I nostri esperti vi aiuteranno a trovare le soluzioni giuste per soddisfare le vostre esigenze specifiche.
Una volta individuata la soluzione migliore per voi, vi forniremo i prezzi e le date di consegna..
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