• La Conta Zero è <1,5 conteggi/m3 senza l’uso di schemi di sottrazione del conteggio zero
• Efficienza di conteggio a: 10 nm = 50% ± 20%, 15 nm = 100% ± 10%
• Ingombro inferiore dell’83% rispetto ai prodotti della concorrenza (16,5 x 20,2 x 15,2 cm)
• Riempimento del fluido di lavoro necessario solo una volta all’anno in occasione della calibrazione annuale, in grado di far passare 15 mesi tra un refill e l’altro con un funzionamento a tempo pieno 24×7
• Sensibilità: ≥ 10 nm
• Portata del campione: 2,8 LPM (0,1 CFM)
• Indirizzo IP e posizioni residenti nella stazione base che consentono il “cambio a caldo” dello strumento
• 4-20mA
• Porte USB (2): per seriale su USB (porta di servizio) e chiavetta USB
• Porte Ethernet (2): per protocollo Ethernet e MODBUS su TCP/IP
• Pronto per il funzionamento dopo 20 minuti dall’accensione
• I dati possono essere visualizzati, analizzati e segnalati utilizzando il software di monitoraggio Facility Net di PMS o trasmessi direttamente a sistemi SCADA di terze parti o a strumenti di processo di ingresso
• Monitoraggio sequenziale o programmato (con il campionatore ParticleSeeker a 10 porte)
• Compatibile con i gas ad alta pressione
• Adatto all’uso in ambienti di Classe 1 ISO

• Le dimensioni più ridotte della categoria consentono il monitoraggio all’interno degli strumenti di processo nelle aree funzionali più critiche e sulle piazzole di distribuzione del gas ad alta pressione più congestionate
• Il design del sistema di gestione dei fluidi di lavoro, in attesa di brevetto, è robusto ed efficiente per un funzionamento davvero continuo 24/7/365 senza la necessità di intervento da parte dell’utente e previene le interruzioni del campionamento e della raccolta dati
• La dimensione volumetrica esterna migliore della categoria definisce lo standard per i CPC progettati per applicazioni di produzione e controllo dei processi.
• Non utilizza il flusso d’aria della guaina, garantendo la capacità di campionamento volumetrico
• Nessun potenziale di migrazione indesiderata del fluido durante la spedizione, la movimentazione e l’installazione, come avviene in altri CPC per applicazioni industriali.
• Assenza di pompe o ventole interne; eliminazione della manutenzione e della potenziale generazione di particelle
• Capacità di monitorare più punti di campionamento in sequenza o in modo programmato

• Monitoraggio dei Punti di Utilizzo (POU) nelle aree di processo
• Monitoraggio continuo dell’attività delle particelle in tempo reale
• Utilizzo in strumenti di processo per semiconduttori e moduli di apparecchiature front-end (EFEM)

NanoAir + ParticleSeeker (campionatore a 10-porte):

• Monitoraggio all’interno di mini-ambienti di impianti di processo Equipment Front End Module (EFEM)
• Ideale per le applicazioni che richiedono un monitoraggio programmato dei punti di campionamento che segua il percorso del wafer o di altre superfici critiche
• Monitoraggio della contaminazione in un’ampia area fino a 120 m2 di spazio di produzione/processo

NanoAir + HPD-III (per il monitoraggio dei gas inerti ad alta pressione):

• L’utilizzo del contatore di particelle NanoAir con il diffusore ad alta pressione (HPD III) di PMS consente di misurare in tempo reale, in modo continuo e ad alta sensibilità i gas sfusi ad alta pressione.