Plage de sensibilité: 20 - 100 nm

Chem 20 Chemical Particle Counter

Les processus microélectroniques de pointe exigent des produits chimiques très propres qui sont fortement filtrés et réglementés à une taille de particules inférieure ou égale à 20 nm. Avec une sensibilité de particules de 20 nm, le nouveau compteur de particules chimiques PMS Chem 20 est le plus sensible pour les produits chimiques de haute pureté.

De nombreuses données sur les systèmes de conditionnement et de distribution de produits chimiques prouvent que le capteur PMS Chem 20, avec sa sensibilité de 20 nm, détecte les concentrations plus importantes de particules avec de meilleures statistiques que les produits concurrents.  Le compteur de particules chimiques Chem 20 est un outil efficace qui permet aux ingénieurs spécialisés dans les installations et les process de détecter et caractériser rapidement les sources des particules chimiques avant qu'elles n'aient un impact sur les performances du process et de l'appareil.

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Fonctions

  • Sensibilité de 20 nm pour les produits chimiques grâce à l'optique laser et les détecteurs avancés
  • Débitmètre intégré pour régler le débit de l'échantillon
  • Premier compteur de particules optimisé pour des produits chimiques à indice de réfraction faible et élevé, assurant des performances accrues:
    • Capteur Chem 20 pour produits chimiques à indices de réfraction inférieurs
    • Capteur Chem 20-HI, adapté pour l'acide sulfurique et d'autres produits chimiques à indice plus élevé
  • Détection de fuite intégrée pour générer une alarme en cas de fuite chimique interne
  • Détecteur et alarme de faible débit pour assurer la cohérence des données
  • Détecteur de bulles pour optimiser et protéger le capteur
  • Affichage de données locales

Avantages

  • Détectez des particules de PSL de 20 nm et des particules d'Au de 9 nm en temps réel
  • Détectez les particules limitant le rendement (impossible avec les technologies concurrentes)
  • Réagissez rapidement aux excursions de particules bien avant que les données d'analyse de surface ou de rendement soient disponibles
  • Optimisez les systèmes de diffusion des produits chimiques du quai de chargement au point de traitement
  • Rationalisez les limites de contrôle du process en améliorant les statistiques de population de l'échantillon
  • Optimisez le fonctionnement d'un instrument pour des applications très sales ou très propres à l'aide de deux modes d'affichage, ce qui agrandit l'espace d'application du produit
  • Prenez en charge des systèmes d'acquisition de données grâce à des communications flexibles

Applications

  • Surveillance des particules en temps réel au sein des systèmes de distribution de produits chimiques
  • Surveillance au point de process
  • Surveillance des opérations de conditionnement des produits chimiques
  • Caractérisation de l'efficacité et des performances du filtre chimique
  • Test de performance des composants chimiques

Equipements supportés

Accessoires disponibles

Logiciel Facility Net

Logiciel Facility Net

Le logiciel Facility Net fournit une solution pour une surveillance environnementale complète, incluant un affichage des données passées et en temps réel. Compteurs de particules et dispositifs de contrôle de la contamination moléculaire de Particle Measuring Systems compatibles, ainsi que différents produits tiers.

Kit d'installation du liquide

Kit d'installation du liquide

Pour une utilisation avec les applications en ligne, le kit d'installation du liquide comprend un outil à évaser Flaretek®, cinq capuchons, 7,60 m (25 pi) de tubes 1/4 po de perfluoroalkoxy (PFA) et des connecteurs mâles.

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