Compteur de particules chimiques: Chem 20™
Plage de sensibilité: 20 - 100 nm
Surveillance de particules en ligne et d’échantillons à 20 nm
Les processus microélectroniques de pointe nécessitent des produits chimiques très propres, hautement filtrés et régulés à une taille de particule de 20 nm ou moins. Avec une sensibilité aux particules de 20 nm, le compteur de particules chimiques Chem 20 de Particle Measurement Systems (PMS) prend en charge la feuille de route internationale pour les appareils et systèmes (IRDS) et une grande variété de produits chimiques.
De nombreuses données sur les systèmes de conditionnement et de distribution de produits chimiques prouvent que le capteur PMS Chem 20, avec sa sensibilité de 20 nm, détecte les concentrations plus importantes de particules avec de meilleures statistiques que les produits concurrents. Le compteur de particules chimiques Chem 20 est un outil efficace qui permet aux ingénieurs spécialisés dans les installations et les process de détecter et caractériser rapidement les sources des particules chimiques avant qu’elles n’aient un impact sur les performances du process et de l’appareil.
Caractéristiques du produit
- Surmonter la dispersion d’arrière-plan
- Sécurité des lasers
- Détection des bulles dans le flux d’échantillon
- Gestion d’une réduction du flux d’échantillon
- Detection des fuites Obtention de données stables et reproductibles
En savoir plus dans l'onglet Matériel pédagogique
Détails du produit
- Maintenant avec capacité d’échantillonnage à seringue avec le SLS-20
- Sensibilité de 20 nm pour les produits chimiques grâce à l’optique laser et les détecteurs avancés
- Débitmètre intégré pour régler le débit de l’échantillon
- Premier compteur de particules optimisé pour des produits chimiques à indice de réfraction faible et élevé, assurant des performances accrues:
- Capteur Chem 20 pour produits chimiques à indices de réfraction inférieurs
- Capteur Chem 20-HI, adapté pour l’acide sulfurique et d’autres produits chimiques à indice plus élevé
- Détection de fuite intégrée pour générer une alarme en cas de fuite chimique interne
- Détecteur et alarme de faible débit pour assurer la cohérence des données
- Détecteur de bulles pour optimiser et protéger le capteur
- Affichage de données locales
- Détectez des particules de PSL de 20 nm et des particules d’Au de 9 nm en tem
- Test à 20 nm facile en ligne et hors ligne
- Détectez les particules limitant le rendement (impossible avec les technologies concurrentes)
- Réagissez rapidement aux excursions de particules bien avant que les données d’analyse de surface ou de rendement soient disponibles
- Optimisez les systèmes de diffusion des produits chimiques du quai de chargement au point de traitement
- Rationalisez les limites de contrôle du process en améliorant les statistiques de population de l’échantillon
- Optimisez le fonctionnement d’un instrument pour des applications très sales ou très propres à l’aide de deux modes d’affichage, ce qui agrandit l’espace d’application du produit
- Prenez en charge des systèmes d’acquisition de données grâce à des communications flexibles
- Surveillance des particules en temps réel au sein des systèmes de distribution de produits chimiques
- Assurance et vérification de la qualité chimique
- Surveillance au point de process
- Surveillance des opérations de conditionnement des produits chimiques
- Caractérisation de l’efficacité et des performances du filtre chimique
- Test de performance des composants chimiques
Ressources
Accessoires
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