Étalonnage et dépannage du spectre pour les analyseurs AMC AirSentry® II
La contamination moléculaire en suspension dans l’air, appelée «AMC», est une cause courante de perte de défauts et de dégradation des produits dans de nombreux environnements de fabrication en salles blanches. Les coûts associés aux problèmes de qualité et aux pertes de rendement liés à AMC sont bien compris, et une réduction adéquate de l’AMC est essentielle pour que les fabricants en environnements propres restent compétitifs. Pour cette raison, les techniques de mesure AMC doivent permettre au personnel technique de détecter les événements AMC hors de contrôle en temps réel avec la certitude que la technique de détection elle-même fonctionne correctement et ne contribue pas excessivement à la variation.
L’analyseur AMC AirSentry® II utilise la spectrométrie de mobilité ionique (IMS) qui permet des mesures de concentration AMC en temps réel inférieure à ppb en aussi peu que toutes les 5 secondes, avec les meilleurs temps de réponse, précision et sensibilité. L’AirSentry II (ASII) fournit également aux utilisateurs des outils de diagnostic via le logiciel de service inclus pour évaluer rapidement et simplement les performances en temps réel de l’analyseur et vérifier le bon fonctionnement pour exclure toute fausse lecture ou contribution excessive à la variation de mesure. Grâce au logiciel, le bon fonctionnement peut être vérifié avec une inspection visuelle directe de la courbe du spectre de mobilité ionique détectant l’AMC, ainsi qu’une inspection quantitative des paramètres de fonctionnement clés. L’installation correcte et les résultats d’étalonnage conformes aux spécifications peuvent être vérifiés à tout moment à l’aide de ces outils de diagnostic.
Téléchargez ce document pour une introduction aux principes fondamentaux du spectre IMS d’AirSentry II et aux outils de diagnostic mis à disposition via le spectre IMS.
