Rango de sensibilidad: 20 - 100 nm

Contador de partículas en productos químicos Chem 20™

Los procesos de microelectrónica de vanguardia requieren productos químicos para procesos muy limpios que estén muy filtrados y regulados a un tamaño de partícula de 20 nm o inferior. El nuevo contador de partículas en productos químicos Chem 20 de PMS, con una sensibilidad de 20 nm, es el sensor de partículas más sensible del mundo para productos químicos que van a usarse en procesos de alta pureza.

Abundantes datos de sistemas de embalaje y distribución de productos químicos demuestran que el sensor Chem 20 de PMS, con una sensibilidad de 20 nm, detecta mayores concentraciones de partículas con mejores estadísticas que los productos de la competencia. El contador de partículas en productos químicos Chem 20 es una valiosa herramienta que permite a los ingenieros de procesos y las instalaciones detectar y caracterizar con rapidez fuentes de partículas químicas antes de que afecten al rendimiento del proceso y el dispositivo.

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Características

  • Avanzada óptica láser y detectores que permiten una sensibilidad de 20 nm para los productos químicos
  • Caudalímetro químico incorporado para ajustar el caudal de la muestra
  • Es el primer contador de partículas optimizado para productos químicos de índice de refracción bajo y alto lo que garantiza un rendimiento mejorado:
    • Sensor Chem 20 para productos químicos con índices de refracción más bajos
    • Sensor Chem 20-HI personalizado para ácido sulfúrico y otros productos químicos de índice más alto
  • Detección de fugas integrada que genera una alarma cuando se produce una fuga interna de productos químicos
  • Detector y alarma de caudal bajo para garantizar datos coherentes
  • Detector de burbujas para optimizar los datos y proteger el sensor
  • Visualización de datos locales

Ventajas

  • Detecte partículas de PSL de 20 nm y de Au de 9 nm en tiempo real
  • Detecte partículas que limitan el rendimiento (no es posible con las tecnologías de la competencia)
  • Reaccione con rapidez a desplazamientos de partículas mucho antes de que estén disponibles los análisis de la superficie o los datos de rendimiento
  • Optimice los sistemas de suministro de productos químicos desde la zona de carga hasta el punto de proceso
  • Ajuste los límites de control de proceso mediante estadísticas mejoradas de la población de la muestra
  • Optimice el funcionamiento de los instrumentos en aplicaciones muy sucias o muy limpias con dos modos de visualización, ampliando el espacio de aplicación del producto
  • Ayude a los sistemas de adquisición de datos con comunicaciones flexibles

Aplicaciones

  • Monitorización de partículas en tiempo real dentro de los sistemas de distribución de productos químicos
  • Monitorización del punto de proceso
  • Monitorización de las operaciones de embalaje de productos químicos
  • Caracterización de la eficiencia y el rendimiento de filtros de productos químicos
  • Análisis del rendimiento de componentes de manipulación de productos químicos

Material de apoyo

Preguntas frecuentes

Accesorios disponibles

Software Facility Net

Software Facility Net

El software Facility Net ofrece una solución de seguimiento ambiental total, incluyendo la visualización de los datos en tiempo real y cronológica. Es compatible con los contadores de partículas y los monitores de contaminación molecular de Particle Measuring Systems, así como con otros productos de distintas marcas.

Kit de instalación para líquidos

Kit de instalación para líquidos

Para el uso con aplicaciones en línea, el kit de instalación para líquidos incluye: un mandril Flaretek®, cinco tapas, 7,6 metros (25 pies) de tubo PFA (perfluoro alcoxil alcano) de 1/4 de pulg. y conectores macho.

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