Techniken zur Fehlerbehebung beim AMC-Monitoring
Ein effektives AMC-Monitoring verkürzt die Zeit, um sehr geringe Mengen an luftgetragener molekularer Kontamination (AMC) zu erkennen, einzudämmen und zu mindern, was für High-Tech-Hersteller von entscheidender Bedeutung ist. Die mit AMC-bezogenen Qualitätsproblemen und Ertragsverlusten verbundenen Kosten sind allgemein bekannt, und eine angemessene Reduzierung von AMC ist für saubere Hersteller von entscheidender Bedeutung, um wettbewerbsfähig zu bleiben.
Technisches Personal benötigt die Flexibilität, AMC-Daten mit einer guten zeitlich-räumlichen Auflösung überall in der sauberen Umgebung effizient zu erfassen, um sowohl Stichprobenpläne aufrechtzuerhalten als auch standortspezifische Daten zu sammeln, die bei der Fehlerbehebung bei AMC-Quellen konvergieren. Dr. Dan Rodier von Particle Measuring Systems bietet einen kurzen Überblick über AMC sowie die neueste Technologie zur effizienten Identifizierung von AMC-Quellen im Reinraum.
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