Molekular

TYP:

Als Teil unserer Komplettlösungen zur Überwachung einer reinen Umgebung (Produkte und Dienstleistungen) bietet Ihnen Particle Measuring Systems (PMS) AMC-Lösungen für die Überwachung luftgetragener molekularer Verunreinigungen, (Airborne Molecular Contamination) mit drei Optionen: Mobil, Mehrpunkt und Point-of-Use

Bei hochtechnisierten Fertigungsprozessen in Reinstraumumgebungen kann eine luftgetragene molekulare Verunreinigung (AMC) teure Schäden verursachen. Unsere AMC-Monitore erkennen Säuren, Amine, Ammoniak und Chloride und helfen Ihnen dabei, Probleme und deren Position schnell zu erkennen, bevor Ihr Produkt verunreinigt wird. 
 

Vorteile unserer AMC-Monitoringsysteme

Obwohl keine Umgebung ständig zu 100 % frei von Verunreinigungen ist, können Sie eine Kontamination erkennen, bevor eine kostspielige Beeinträchtigung eintritt. Verlassen Sie sich dazu einfach auf unsere AirSentry AMC-Monitoringsysteme! 
Einige der Vorteile unserer verschiedenen Konfigurationen umfassen: 

  • Vielseitige Konfigurationsoptionen für kontinuierliche oder mobile Überwachung
  • Gründliche und zuverlässige Datengenerierung und Datentrends
  • Langfristige Datentrends und Ergebnisse
  • Niedrige Kosten pro Test und Kosten pro Probenpunkt
  • Nachweis mehrerer AMC-Verbindungen gemäß vom Endbenutzer definierter Vorgaben
  • Erkennung von AMC-Problemen und -Quellen, bevor kostspielige Schäden entstehen
  • Charakterisierung der Werte der luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC) 
     

AirSentry Monitoringanwendungen für luftgetragene molekulare Verunreinigungen

Das AMC-Monitoring ist für eine Vielzahl von Branchen geeignet, darunter Halbleiterindustrie, Photonik und Optik sowie Luft- und Raumfahrt. Aufgrund der Vielzahl von Konfigurationsoptionen für die kontinuierliche ferngesteuerte oder mobile Überwachung können unsere AirSentry AMC-Monitore in folgenden Bereichen eingesetzt werden: 

  • Fehlerbehebung und Erkennen von AMC-Quellen
  • Isolierung und Verifizierung von Kontaminationsepisoden
  • Effektive Überwachung von Kleinstumgebungen und Prozessinstrumenten
  • Prüfung und Validierung der chemischen Filtrationsleistung
  • Überwachung von Mehrpunkt-Reinräumen und Prozessbereichen
  • Definition von Grundlinien und Qualifizierung von AMC-Niveaus in neuen Reinräumen
  • Analyse und Quantifizierung der chemischen Filtrationseffizienz
  • Charakterisierung des AMC-Beitrags von Make-up und Umluft
  • Überwachung der Korrosion in Ätzprozessen in Echtzeit
  • Überwachung von Aminen und Ammoniak in Lithografiesystemen
  • Quantifizierung der chemischen Filtrationseffizienz
  • Ursachenverfolgung von AMC-Quellen und Fehlerbehebung in allen Reinräumen, für alle Prozessinstrumente

Weitere Informationen zum AMC-Monitoring

Lesen Sie einige unserer Beiträge von führenden Branchenexperten zum Thema AMC-Monitoring, um Lösungen für Ihre Anwendung zu finden:


Als vertrauenswürdige Branchenexperten helfen wir unseren Partnern, ihren Ertrag zu verbessern und Produktverunreinigungen zu vermeiden. PMS bietet Überwachung von Luft- und Flüssigkeitspartikeln sowie Überwachung von molekularen Verunreinigungen. Unser Team mit globalen Experten steht Ihnen mit Lösungen für Ihre Anwendung zur Seite. 

Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.
 

AirSentry® II Mobiles AMC-Nachweissystem

Das mobile AirSentry II AMC-Nachweissystem als Erweiterung für ortsfeste AMC-Monitoring-Programme ist das erste wirklich mobil einsetzbare System für...

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AirSentry® II Mehrpunkt-Monitoringsystem

Das AirSentry II Mehrpunkt-Monitoringsystem ist der fortschrittlichste derzeit verfügbare Monitor für luftgetragene molekulare Verunreinigung („airborne molecular contamination“, AMC). Für den AMC-Nachweis und die Charakterisierung der Kontaminationsmerkmale an mehreren Standorten innerhalb eines Reinraums arbeitet er mit hochempfindlicher und reaktionsschneller Ionen-Mobilitäts-Spektrometrie. Das System ist mit einem 16- oder 30-Punkt-Probenahme-Verteilersystem und einem integrierten Computer mit sicherer Software und Datenübertragung ausgestattet.

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AirSentry® II Point-of-Use Ionen-Mobilitäts-Spektrometer

Die Familie der AirSentry II Ionen-Mobilitäts-Spektrometer weist bereits geringe Konzentrationen oder Änderungen bei den Werten von Chloriden, Säuren, Aminen und ammoniakhaltigen Spezies in Luft nach und gibt entsprechende Warnungen an die Anwender aus.

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AirSentry® II Point-of-Use Ionen-Mobilitäts-Spektrometer

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