Das mobile AirSentry II AMC-Nachweissystem als Erweiterung für ortsfeste AMC-Monitoring-Programme ist das erste wirklich mobil einsetzbare System für…
Als Teil unserer Komplettlösungen zur Überwachung einer reinen Umgebung (Produkte und Dienstleistungen) bietet Ihnen Particle Measuring Systems (PMS) AMC-Lösungen für die Überwachung luftgetragener molekularer Verunreinigungen, (Airborne Molecular Contamination) mit drei Optionen: Mobil, Mehrpunkt und Point-of-Use.
Bei hochtechnisierten Fertigungsprozessen in Reinstraumumgebungen kann eine luftgetragene molekulare Verunreinigung (AMC) teure Schäden verursachen. Unsere AMC-Monitore erkennen Säuren, Amine, Ammoniak und Chloride und helfen Ihnen dabei, Probleme und deren Position schnell zu erkennen, bevor Ihr Produkt verunreinigt wird.
Vorteile unserer AMC-Monitoringsysteme
Obwohl keine Umgebung ständig zu 100 % frei von Verunreinigungen ist, können Sie eine Kontamination erkennen, bevor eine kostspielige Beeinträchtigung eintritt. Verlassen Sie sich dazu einfach auf unsere AirSentry AMC-Monitoringsysteme!
Einige der Vorteile unserer verschiedenen Konfigurationen umfassen:
- Vielseitige Konfigurationsoptionen für kontinuierliche oder mobile Überwachung
- Gründliche und zuverlässige Datengenerierung und Datentrends
- Langfristige Datentrends und Ergebnisse
- Niedrige Kosten pro Test und Kosten pro Probenpunkt
- Nachweis mehrerer AMC-Verbindungen gemäß vom Endbenutzer definierter Vorgaben
- Erkennung von AMC-Problemen und -Quellen, bevor kostspielige Schäden entstehen
- Charakterisierung der Werte der luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC)
AirSentry Monitoringanwendungen für luftgetragene molekulare Verunreinigungen
Das AMC-Monitoring ist für eine Vielzahl von Branchen geeignet, darunter Halbleiterindustrie, Photonik und Optik sowie Luft- und Raumfahrt. Aufgrund der Vielzahl von Konfigurationsoptionen für die kontinuierliche ferngesteuerte oder mobile Überwachung können unsere AirSentry AMC-Monitore in folgenden Bereichen eingesetzt werden:
- Fehlerbehebung und Erkennen von AMC-Quellen
- Isolierung und Verifizierung von Kontaminationsepisoden
- Effektive Überwachung von Kleinstumgebungen und Prozessinstrumenten
- Prüfung und Validierung der chemischen Filtrationsleistung
- Überwachung von Mehrpunkt-Reinräumen und Prozessbereichen
- Definition von Grundlinien und Qualifizierung von AMC-Niveaus in neuen Reinräumen
- Analyse und Quantifizierung der chemischen Filtrationseffizienz
- Charakterisierung des AMC-Beitrags von Make-up und Umluft
- Überwachung der Korrosion in Ätzprozessen in Echtzeit
- Überwachung von Aminen und Ammoniak in Lithografiesystemen
- Quantifizierung der chemischen Filtrationseffizienz
- Ursachenverfolgung von AMC-Quellen und Fehlerbehebung in allen Reinräumen, für alle Prozessinstrumente
Weitere Informationen zum AMC-Monitoring
Lesen Sie einige unserer Beiträge von führenden Branchenexperten zum Thema AMC-Monitoring, um Lösungen für Ihre Anwendung zu finden:
- Mobiles Überwachungssystem beschleunigt Erkennung, Lokalisierung und Fehlerbehebung von molekularen Verunreinigungsquellen
- Optimierte Überwachung der molekularen Kontamination für die Lithografie
- Sicherstellen der Verunreinigungskontrolle in Fertigungsumgebungen mit Reinheitsklassen
Als vertrauenswürdige Branchenexperten helfen wir unseren Partnern, ihren Ertrag zu verbessern und Produktverunreinigungen zu vermeiden. PMS bietet Überwachung von Luft- und Flüssigkeitspartikeln sowie Überwachung von molekularen Verunreinigungen. Unser Team mit globalen Experten steht Ihnen mit Lösungen für Ihre Anwendung zur Seite.
AMC-Reinraummonitor: AirSentry® II Mehrpunktsystem
AirSentry II Mehrpunkt-AMC-Reinraummonitorlösungen von Particle Measuring Systems

AMC-Überwachung: AirSentry® II-Ionenmobilitätsspektrometer am Einsatzort
Die AirSentry II Ionenmobilitätsspektrometer für luftgetragene molekulare Kontamination (AMC) erkennt und warnt Benutzer vor geringen Konzentrationen oder Änderungen der luftgetragenen Gehalte an Chloriden, Säuren, Aminen und ammoniakhaltigen Spezies.
