Chem 20™ Partikelzähler
Führende Mikroelektronikprozesse erfordern hochreine Prozeßchemikalien welche auf eine Partikelgröße von 20 nm und darunter gefiltert und geregelt werden.
Mit einem Meßempfindlichkeit von 20 nm ist der neue Chem 20™ Partikelzähler von PMS der empfindlichste Partikelsensor für hochreine Prozeßchemikalien der Welt.
Umfangreiche Daten aus der Chemikalienversorgung und Verpackungssysteme zeigen, dass der PMS Chem 20 Sensor mit 20 nm Empfindlichkeit eine höhere Anzahl und Statistik von Partikel als vergleichbare Produkte erkennen.
Der Chem 20 Partikelzähler ist ein wertvolles Equipment welches Ingenieuren aus der Verfahrenstechnik und Chemikalienversorgung einen schnellen Nachweis von Partikelquellen liefern noch bevor diese Partikel Auswirkungen auf den Prozeß und eine negative Leistung der Kundenprodukte ermöglichen.
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