Chem 20™ Partikelzähler

Meßbereich: 20 - 100 nm

Chem 20^™ Partikelzähler

Führende Mikroelektronikprozesse erfordern hochreine Prozeßchemikalien welche auf eine Partikelgröße von 20 nm und darunter gefiltert und geregelt werden.

Mit einem Meßempfindlichkeit von 20 nm ist der neue Chem 20™ Partikelzähler von PMS der empfindlichste Partikelsensor für hochreine Prozeßchemikalien der Welt.

Umfangreiche Daten aus der Chemikalienversorgung und Verpackungssysteme zeigen, dass der PMS Chem 20 Sensor mit 20 nm Empfindlichkeit eine höhere Anzahl und Statistik von Partikel als vergleichbare Produkte erkennen.

Der Chem 20 Partikelzähler ist ein wertvolles Equipment welches Ingenieuren aus der Verfahrenstechnik und Chemikalienversorgung einen schnellen Nachweis von Partikelquellen liefern noch bevor diese Partikel Auswirkungen auf den Prozeß und eine negative Leistung der Kundenprodukte ermöglichen.

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Kenndaten

Erweiterte Laseroptiken und Detektoren ermöglichen 20 nm Empfindlichkeit in Chemikalien
Integrierter regulierbarer chemischer Durchflußmesser
Erster optimierter Partikelzähler für Chemikalien mit niedrigem und hohem Brechungsindex für eine verbesserte Leistung von:
- Chem 20 Sensor für Chemikalien mit niedrigem Brechungsindex
- Chem 20-HI Sensor für Schwefelsäure und andere Chemikalien mit hohem Brechungsindex
Integrierte Bordlecksuche um Alarm bei einem internen chemischen Leck zu detektieren
Integrierter Detektor als Alarmsignal bei geringen Durchfluß um konsistente Daten sicherzustellen
Makro-Blasendetektor um die Sensorleistung zu schützen
Lokales Datendisplay

Leistungsdaten

Detektion von 20 nm PSL bzw. 9 nm Gold Partikeln in Echtzeit
Erkennen von Ausbeute-limitierenden Partikeln (nicht mit Marktbegleiter-Technologie möglich)
Erkennen und Vermeiden von Partikeln bevor Daten aus Partikel-Oberflächen-Scans und Yield verfügbar sind
Optimierung von Chemieversorgungs-systemen von Wareneingang bis zum Chemikalienverbraucher
Engere Prozess-Spezifikationen möglich durch verbesserte Partikelverteilungs-Statistiken
Einstellung/Optimierung des Gerätes auf stark verschmutzte und sehr reine Applikationen durch 2 verschiedene Modi, damit Erweiterung des Anwendungs-bereichs
Support von aktuellen und Vorgänger Datenerfassungs-Systemen durch flexible Schnittstellen

Anwendungen

Echtzeit Partikel-Überwachung in Chemieversorgungssystemen
Point-of-Process Überwachung
Überwachung bei Abfüllungsprozessen für Chemikalien
Effizienz- und Performance Bestimmung von Chemiefiltern
Test der Performance von Komponenten zur Chemikalienbeförderung

Weitergehnde Informationen

Häufig gestellte Fragen (FAQs)

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Lieferbares Zubehör

Software Facility Net

Die Software Facility Net bietet eine Lösung für ein umfassendes Umgebungsmonitoring mit Anzeige von Echtzeit- und historischen Daten. Geeignet für kompatible Partikelzähler und Monitore für molekulare Verunreinigungen von Particle Measuring Systems sowie für verschiedene Produkte von Drittanbietern.

Installationsset für Flüssigkeiten

Zum Lieferumfang des Installationssets für den Einsatz in Inline-Anwendungen gehören: ein Flaretek® Aufweitungswerkzeug, drei Verschlusskappen, ein PFA (Perfluoralkoxyalkan)-Schlauch, 1/4", Länge 25 Fuß und Steckanschlüsse.