Weltweit erster 20 nm Partikelzähler für Chemikalien
Führende Mikroelektronikprozesse erfordern hochreine Prozeßchemikalien, welche auf eine Partikelgröße von 20 nm und darunter gefiltert und geregelt werden. Mit einer Meßempfindlichkeit von 20 nm ist der neue Chem 20™ Partikelzähler von PMS der empfindlichste Partikelsensor für hochreine Prozesschemikalien der Welt.
Umfangreiche Daten aus der Chemikalienversorgung und Verpackungssysteme zeigen, dass der PMS Chem 20™ Sensor mit 20 nm Empfindlichkeit eine höhere Anzahl und Statistik von Partikeln als vergleichbare Produkte erkennt.
Der Chem 20™ Partikelzähler ist ein wertvolles Instrument, welches Ingenieuren aus der Verfahrenstechnik und Chemikalienversorgung einen schnellen Nachweis von Partikelquellen liefert noch bevor diese Partikel Auswirkungen auf den Prozess und eine negative Leistung der Kundenprodukte haben.
