Kalibrierung und Spektrum-Fehlerbehebung für AirSentry® II AMC-Analysegeräte

In der Luft befindliche molekulare Verunreinigungen, die als „AMCs“ bezeichnet werden, sind eine häufige Ursache für Fehlerverluste und Produktverschlechterungen in vielen Reinraumherstellungsumgebungen. Die mit AMC-bezogenen Qualitätsproblemen und Ertragsverlusten verbundenen Kosten sind gut bekannt, und eine angemessene Reduzierung der AMC ist für saubere Hersteller von entscheidender Bedeutung, um wettbewerbsfähig zu bleiben. Aus diesem Grund müssen AMC-Messtechniken das technische Personal in die Lage versetzen, AMC-Ereignisse in Echtzeit zu erkennen, die nicht unter Kontrolle sind. Dabei muss sichergestellt sein, dass die Detektionstechnik selbst ordnungsgemäß funktioniert und nicht übermäßig zur Abweichung beiträgt.

Der AirSentry® II AMC-Analysator verwendet die Ionenmobilitätsspektrometrie (IMS), mit der AMC-Konzentrationsmessungen in Echtzeit im Sub-ppb-Bereich in nur 5 Sekunden mit erstklassigen Reaktionszeiten, Präzision und Empfindlichkeit durchgeführt werden können. Der AirSentry II (ASII) stattet Benutzer mit Diagnosetools über die mitgelieferte Service-Software aus, um die Echtzeitleistung des Analysators schnell und einfach zu bewerten und die korrekte Funktion zu überprüfen, um falsche Messwerte oder einen übermäßigen Beitrag zur Messabweichung auszuschließen. Über die Software kann die korrekte Funktion durch direkte visuelle Überprüfung der AMC-detektierenden Ionenmobilitätsspektrumskurve sowie durch quantitative Überprüfung der wichtigsten Betriebsparameter überprüft werden. Mit diesen Diagnosetools können die korrekte Installation und die Kalibrierungsergebnisse jederzeit überprüft werden..

Laden Sie dieses Dokument herunter, um eine Einführung in die Grundlagen des AirSentry II-IMS-Spektrums und die Diagnosetools zu erhalten, die über das IMS-Spektrum bereitgestellt werden.