ISO 21501-4 Partikelgrößenverteilung
Einzelpartikel-Lichtinteraktionsmethoden
ISO 14644-1:2015 führt die Notwendigkeit von Partikelzählern ein, die nach ISO 21501-4 kalibriert sind. Die Kalibrierungsmethoden stellen die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Daten sicher. Die in ISO 14644 und ISO 21501-4 beschriebenen Methoden sind ein wichtiger Schritt zu einer genaueren Bewertung der Reinraumkontamination und einer verbesserten Prozesskontrolle.
ISO 21501, Bestimmung der Partikelgrößenverteilung – Lichtinteraktionsverfahren für Einzelpartikel, umfasst vier Teile, von denen in diesem Dokument nur Teil 4 behandelt wird: Lichtstreuende Luftpartikelzähler für Reinräume
Mit der Dokumentation und Freigabe der Norm ISO 21501-2, -3 und -4 wird ISO 13323-1:2000 ersetzt und verliert ihre Gültigkeit. Die Norm ISO 21501 erweitert den Umfang der Analyse und nimmt eine Methodik für die Partikelzählung in Luft und in Flüssigkeiten (sowohl mit Streulicht- als auch Extinktionsverfahren) in das Regelwerk auf. Insbesondere beschreibt ISO 21501-4 ein Kalibrierverfahren und eine Verifizierungsmethode für Luftpartikelzähler, um ungenaue Messungen zu minimieren und Abweichungen zwischen verschiedenen Messgeräten zu verringern. Diese neuen Richtlinien verlangen eine Pulshöhenanalyse (PHA) für Kalibrierungen von Partikelzählern, wodurch Inkonsistenzen verringert werden.
Dieses Papier von Particle Measuring Systems listet alle Kalibrierungsanforderungen der ISO 21501-4 auf und enthält eine kurze Beschreibung der angewandten Prüfmethode:
- Durchsatz der Probenahme
- Effizienz der Zählung
- Auflösung
- Falschzählrate
- Einstellungen der Partikelgröße
Zusätzliche Kalibrierungsanforderungen nach ISO 21501-4, wie Koinzidenzverlust bei maximaler Partikelkonzentration und maximaler Partikelanzahlkonzentration, werden ebenfalls erläutert.
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