液体粒子传感器环境控制柜

概要

用于UltraDI®20和Chem 20™粒子传感器的PMS环境控制柜，专为生产最高精度（20nm）的颗粒数据而设计，其可作用于世界上最干净的超纯水和化学工艺系统。特殊的环境控制设计可使温度控制在所规定的标准（22 - 28°C + 1°C /小时）。

对于测量小于20nm的粒子，细微的环境变化可能会影响数据质量。 环境柜能稳定这些变化并确保粒子数据的精确性。