化学分子

类型:

作为我们完整的清洁环境监测解决方案(产品和服务)的一部分,美国粒子监测系统公司(PMS)为您提供机载分子污染(AMC)解决方案,有三种选择:移动多点使用

在高科技超洁净制造工艺中,AMC会导致代价高昂的损坏。我们的AMC监测仪可检测酸、胺、氨和氯化物,帮助您在产品受到污染之前快速识别问题及其位置。

AMC监控系统的重要性

虽然没有任何环境可以保证100%无污染,但AirSentry AMC监控系统可以帮助您在发生代价高昂的受损之前识别污染。 
AMC监控系统的优点包括: 

  • 多种配置选项,用于连续或移动监控
  • 全面可靠的数据生成和趋势分析
  • 长期性的数据趋势和结果
  • 低成本的测试和采样点
  • 可检测最终用户指定的多种化合物
  • 在发生代价高昂的受损之前确定AMC问题和来源
  • 描述机载分子(AMC)污染水平 

AirSentry机载分子污染监测的应用

AMC监控对包括半导体,光子学和光学以及航空航天在内的各类行业都有效。具有多种配置选项:

  • 排除并识别AMC的来源
  • 隔离并验证污染事件
  • 有效监测微环境和处理工具
  • 测试并验证化学过滤性能
  • 监控多点洁净室和工艺间
  • 在新的洁净室中定义基线并确定AMC级别
  • 分析和量化化学过滤器效率
  • 描述补充和循环空气中的AMC污染
  • 在蚀刻处理中实时监控腐蚀
  • 监测光刻系统中的胺和氨
  • 量化化学过滤效率
  • 在整个洁净室和工艺工具中跟踪和排除AMC源
  • 在FOUP晶圆存储模块中分析AMC

了解有关AMC监控的更多信息

阅读行业专家撰写的关于AMC监测的文章,以找到适合您应用的解决方案:

作为值得信赖的行业专家,我们可以帮助您提高产量并防止产品污染,为您提供空气和液体粒子监测以及分子污染监测。我们的全球专家团队可为您的应用提供解决方案。

AirSentry® II 移动式机载分子污染检测系统

AirSentry II型移动式机载分子污染检测系统

设计用于稳固机载分子污染(AMC)监控程序,AirSentry II移动AMC检测系统是第一个真正的移动系统,用于监测洁净室中的空气分子污染。

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AirSentry® II 移动式机载分子污染检测系统

AirSentry® II多点式检测系统

AirSentry® II 多点式检测系统是最新型的气悬浮分子污染监测器,在洁净室内利用灵敏的离子迁移光谱仪从多个位置去检测和显示气悬浮分子污染。系统采用 16/30 多点采样系统,配备带有安全软件和通信的机载计算机。

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AirSentry® II多点式检测系统

AirSentry® II 电子迁移率光谱仪

灵敏度: 0 - 50 ppbv

电子迁移率光谱仪的AirSentry® II家族用于检测空气分子级污染(AMC),在监测到含酸类、胺类、氨以及氯化物气体时提醒用户。

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AirSentry® II 电子迁移率光谱仪

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