AirSentry® II 电子迁移率光谱仪
AirSentry® II 电子迁移率光谱仪用于检测空气分子级污染（AMC)，在监测到含酸类、胺类、氨以及氯化物气体时提醒用户。它具有ppt级的灵敏度，传感器反应迅速、监测选择性广、性能稳定。Air Sentry II传感器配有中央控制软件，可以轻松地采集分析数据。Air Sentry II传感器提供连续可追溯的数据，来快速回应污染源和污染事件。
特点
- 酸类和基底（胺类、氨以及氯化物）的高灵敏度检测
- 使用点、多点式、移动式监测应用的通用产品配置
- 体积小，可放在任何位置
- 以太网，RS-232, 4-20毫安输出
优点
- 连续监测关键点
- 耐久可靠的数据收集、控制、分析
- 长期数据稳定性
- 最低的每份测试成本
应用
- 在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测
- 在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测
- 化学过滤器有效率的资格确认
- 遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除
- 前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析
可用的配件
气悬浮分子沾污真空泵
为一个AirSentry II使用点传感器提供一个适当的真空源的独立电动泵。典型使用在主泵不可用的时候。
Facility Net软件
Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案，包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器，以及各种第三方产品。
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AirSentry® II多点式检测系统
AirSentry® II 多点式检测系统是最新型的气悬浮分子污染监测器，在洁净室内利用灵敏的离子迁移光谱仪从多个位置去检测和显示气悬浮分子污染。系统采用 16/30 多点采样系统，配备带有安全软件和通信的机载计算机。
