AirSentry® II多点式检测系统
AirSentry® II 多点式监测系统是最新型的气悬浮分子污染监测器,在洁净室内利用灵敏的离子迁移光谱仪从多个位置去监测和显示气悬浮分子污染。 系统采用 16/30 多点采样系统,配备带有安全软件和通信的机载计算机。
在现代洁净室制造领域,工艺装备遍布大的洁净室区域和多层楼房区域。空气处理器会再循环洁净室里的大部分空气,这样容易传播分子污染,对原本不会接触到污染源的工艺步骤产生负面影响。
AirSentry II气悬浮分子污染监测系统提供高性价比的中央监测站,可以快速监测污染及通过设备广泛传播的采样点。这是战略性气悬浮分子污染监测计划的一个关键部分。